双源气溶胶辅助化学气相沉积制备AZO薄膜

发布时间：2017-08-19 07:34

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【摘要】：采用双源气溶胶辅助化学气相沉积法制备了Al掺杂Zn O薄膜。研究了不同的乙醇和甲醇溶液比例对AZO薄膜各种性能的影响。通过紫外-可见光吸收光谱、原子力显微镜、扫描电子显微镜和X射线衍射对薄膜性能进行表征。结果表明通过使用双源AACVD法可以获得具有明显(002)择优取向AZO薄膜,并且在15 m L乙醇和20 m L甲醇时具有最佳的结晶性能,同时具有最优的光电学性能。不同乙醇和甲醇比例下薄膜的形貌不同。
【作者单位】： 燕山大学环境与化学工程学院;燕山大学河北省应用化学重点实验室;
【关键词】： 气溶胶辅助化学气相沉积法 掺杂 AZO薄膜
【基金】：河北省高等学校科学技术研究项目(ZD20131010)
【分类号】：TQ132.41;TB383.2
【正文快照】： 0引言Zn O是一种六角纤锌矿直接宽带隙半导体材料,在室温下禁带宽度为3.30 e V,激子结合能为60 m V[1]。近年来,Zn O在光学器件、透明导电电极以及薄膜太阳能电池等方面有广泛的应用,引起了人们对其光电性能研究的兴趣。Zn O薄膜因其具有化学稳定性好、价格便宜、无毒等特点,

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1 齐东丽;马学军;;透明导电氧化物AZO薄膜的制备与性能研究[J];电脑知识与技术;2014年09期

2 ;[J];;年期

，

本文编号：699483