氩气流量对多元掺杂ZnO薄膜性能的影响

发布时间：2017-08-23 15:07

  本文关键词：氩气流量对多元掺杂ZnO薄膜性能的影响

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【摘要】：采用射频磁控溅射的方法在玻璃基底上用掺杂浓度为1%(质量分数)Al_2O_3,1%(质量分数)SiO2,1%(质量分数)石墨烯的陶瓷靶材制备出了多元掺杂氧化锌(ZnO∶Al∶Si∶GNP,GASZO)透明导电薄膜。利用XRD、SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计对薄膜的性能进行了表征和分析,研究了不同氩气流量(工作压强保持不变)对薄膜的结构、形貌及光电性能的影响。结果表明,所制备的薄膜均具有呈c轴择优取向的纤锌矿结构;当氩气流量为70sccm时,薄膜的电阻率最低为11.47×10~(-4)Ω·cm。所有薄膜样品在可见光波段的平均透过率超过91%。
【作者单位】： 海南大学材料与化工学院海南省特种玻璃重点实验室;河北迎新玻璃集团有限公司;
【关键词】： 氩气流量 射频磁控溅射 多元掺杂ZnO薄膜 光电性能
【基金】：科技部国家支撑计划(2013BAE03B02;2013BAJ15B04) 海南省科技厅重大科研专项(ZDZX2013002) 国家自然科学基金(51562008) 海南省重点研发计划项目(ZDYF2016017)
【分类号】：TQ132.41;TB383.2
【正文快照】： (1 Special Glass Laboratory of Hainan Province,College of Materials and Chemical Engineering,Hainan University,Haikou 570228;2 Hebei Yingxin Glass Group Co.,Ltd,Shahe 054100)段光申:男,1990年生,硕士生,主要研究方向为特种玻璃制备与应用E-mail:2770672781@qq.c

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本文编号：725709