多晶金刚石固结磨料研磨垫精研石英玻璃的性能探索

发布时间：2017-08-25 03:25

  本文关键词：多晶金刚石固结磨料研磨垫精研石英玻璃的性能探索

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【摘要】：通过粘结剂将单晶金刚石制成粒径更大的多晶金刚石。采用SEM观察了多晶金刚石的微观形貌,分别制备了单晶和多晶金刚石固结磨料研磨垫,比较了单晶与多晶金刚石固结磨料研磨垫的研磨性能。结果表明:单晶金刚石固结磨料垫与多晶金刚石固结磨料垫精研石英玻璃的表面粗糙度相似;但多晶金刚石固结磨料垫的材料去除率更高且稳定;多晶金刚石在研磨过程中的微破碎,确保了其自修整过程的实现。另外,多晶金刚石研结磨料垫研磨的石英玻璃亚表面损伤层深度小,约为原始单晶金刚石粒径的1/2。
【作者单位】： 南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室;
【关键词】： 多晶金刚石 石英玻璃 固结磨料研磨垫 研磨性能
【基金】：航空科学基金(2014ZE52055) 江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金 南京航空航天大学研究生创新基地开放基金(kfjj20160h502)
【分类号】：TQ171.684
【正文快照】： 南京航空航天大学研究生创新基地开放基金(kfjj20160h502)0引言石英玻璃是二氧化硅单一组分的特种工业玻璃,具有极低的热膨胀系数,高的耐温性,极好的化学稳定性,优良的电绝缘性,在紫外、可见光及近红外区域透射性能优越。它是空间技术、原子能工业、国防装备、通讯等关键工业

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本文编号：734783