电铸参数对铜基平面微弹簧疲劳性能的影响

发布时间：2017-09-18 19:11

  本文关键词：电铸参数对铜基平面微弹簧疲劳性能的影响

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【摘要】：平面微弹簧性能直接影响着微机电系统(MEMS)的效果和可靠性,研制长寿命的平面微弹簧对于保证微机电系统可靠性具有重要的意义。研究了占空比、电流密度、电源属性对电铸平面微弹簧质量的影响,并基于正交实验设计方法优化了工艺;制备了尺寸精度合适和疲劳性能良好的平面微弹簧,满足了MEMS的需要。研究表明:大的占空比会降低微弹簧的疲劳性能;双脉冲电源电铸的平面微弹簧疲劳性能优于直流电源和单脉冲电源电铸的;最优工艺为采用双脉冲电源、电流密度3 A/dm2、正向占空比10%;反向占空比10%.平面微弹簧疲劳寿命在定位移0.2 mm的情况下,最大517次。
【作者单位】： 南京理工大学材料科学与工程学院;
【关键词】： 兵器科学与技术 平面微弹簧 微电铸 疲劳性能 正交实验
【基金】：江苏省自然科学基金项目(BK20151489) 中央高校基本科研业务费专项资金项目(30920140112008) 上海航天科技创新基金项目(SAST2015044)
【分类号】：TQ153.4
【正文快照】： 0引言微小型武器技术在未来战争和国家安全方面具有重大作用,是未来新型武器系统与装备的重要发展方向之一。为适应武器微小型化发展的需要,各国采用了微机电系统(MEMS)技术制造传感器和微系统。平面微弹簧作为微型执行器、微型加速度传感器以及其他微惯性器件的重要组成部分,，

本文编号：877329