准分子激光与SiC陶瓷的相互作用研究

发布时间：2017-09-21 15:45

  本文关键词：准分子激光与SiC陶瓷的相互作用研究

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【摘要】：采用准分子激光对SiC陶瓷表面进行了不同脉冲数、不同单脉冲能量和不同重复频率的辐照实验,获得了SiC陶瓷的辐照损伤二维和三维表面形貌,并分析了微观作用机制。结果表明,193nm准分子激光辐照SiC陶瓷时既产生光热作用又产生光化学作用,其中光热作用占主导;SiC表面损伤的宏观形貌与激光辐照参数相关,辐照脉冲数增加或单脉冲能量增加均会加重辐照损伤,增大激光重复频率会导致辐照损伤深度略微下降。
【作者单位】： 中国科学院光电研究院;北京市准分子激光工程技术研究中心;
【关键词】： 激光技术 辐照损伤 损伤机制 准分子激光 SiC陶瓷
【基金】：国家科技重大专项(2012ZX02702001)
【分类号】：TQ174.758.12;TN24
【正文快照】： 1引言 工程陶瓷材料,如Al2O3、Si3N4、SiC、ZrO2等,具有很高的硬度和良好的耐磨性、耐热性、耐化学腐蚀性,已广泛应用于电子行业、精密机械工业和航空航天工业。但由于陶瓷材料既硬又脆,采用传统的加工方法加工时,工件容易产生裂纹,而且加工周期长,很难加工复杂的外形。激光

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