毛细管柱气相色谱法测定氢气中的氯化氢

发布时间：2017-10-04 11:35

  本文关键词：毛细管柱气相色谱法测定氢气中的氯化氢

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【摘要】：正多晶硅生产中,干法回收氢气作为原料还原剂和载流气体,若其中氯化氢含量高,则在多晶硅生产过程的前期可能出现倒炉现象,后期可能出现磷超标现象,严重影响多晶硅的质量。因此需对回收氢气中的氯化氢进行测定。目前测定氯化氢的方法有离子色谱法、分光光度法、红外光谱法和填充柱气相色谱法等,采用离子色谱法时需将氯化氢转化为Cl-进行检测,存在操作繁琐、耗气量大、耗时长等缺点[1-5];采用分光光度
【作者单位】： 昆明冶研新材料股份有限公司云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室;
【关键词】： 多晶硅生产;离子色谱法;分光光度法;毛细管色谱柱;耗气量;倒炉;载流;超标现象;红外光谱法;柱流量;
【分类号】：O657.8;TQ116.2
【正文快照】： 多晶硅生产中,干法回收氢气作为原料还原剂和载流气体,若其中氯化氢含量高,则在多晶硅生产过程的前期可能出现倒炉现象,后期可能出现磷超标现象,严重影响多晶硅的质量。因此需对回收氢气中的氯化氢进行测定。目前测定氯化氢的方法有离子色谱法、分光光度法、红外光谱法和填充

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