PSⅡ金属圆管内表面改性中的多脉冲鞘层动力学研究

发布时间：2017-10-14 23:00

  本文关键词：PSⅡ金属圆管内表面改性中的多脉冲鞘层动力学研究

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【摘要】：通过低压非稳态扩散流体模型和鞘层碰撞流体模型数值模拟了等离子体源离子注入(PSII)金属圆管内表面改性过程中的多脉冲鞘层动力学行为,研究了等离子体的扩散行为和脉冲特性对离子注入过程的影响。模拟结果显示,工作气压越低等离子体扩散越迅速,0.1 Pa以下还会出现明显的恢复过冲现象。脉冲的占空比较高时,管内壁附近的等离子体来不及恢复到初始状态,从而降低了注入离子流的峰值,但却增大了注入离子流的平均值,平均注入离子流几乎随占空比线性增加。
【作者单位】： 辽宁工业大学理学院;
【关键词】： 等离子体源离子注入 等离子体扩散 内表面改性 流体模型 模拟
【基金】：国家自然科学基金青年基金项目(11504151) 辽宁省教育厅科学研究一般项目(2015233) 辽宁工业大学教师科研启动基金(201320)
【分类号】：TG174.4
【正文快照】： LI Yi,JING Xiao-dan,FENG Li-qiang(College of Science,Liaoning University of Technology,Jinzhou 121001,China)等离子体源离子注入对于金属材料表面的改性处理是十分有效的[1-4]。栅极增强等离子体源离子注入(grid enhanced plasma source ion implantation,GEPSII)技术，

本文编号：1033649