多弧离子镀制备TiAlN涂层的工艺研究
本文关键词：多弧离子镀制备TiAlN涂层的工艺研究
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【摘要】：介绍了TiAlN涂层和多弧离子镀的特点及应用。总结了多弧离子镀的主要工艺参数及其他影响因素对TiAlN涂层性能的影响规律,为TiAlN涂层的工艺设计提供参考。最后分析和展望了TiAlN涂层的发展方向。
【作者单位】： 南华大学机械工程学院;
【关键词】： TiAlN涂层 多弧离子镀 工艺参数 其他因素
【分类号】：TG174.4
【正文快照】： 0引言Ti N涂层被广泛运用到工业、商业领域,但该涂层在温度超过600℃时便被氧化,出现涂层剥落、硬度下降等现象。而Ti Al N涂层的耐高温氧化温度达到800℃以上,且具有膜基结合强度高、导热率低、摩擦因数小、耐腐蚀等特点,因此Ti Al N涂层将成为Ti N涂层的替代材料,具有较高的
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