靶材用高纯铝板退火组织

发布时间：2017-11-27 16:09

  本文关键词：靶材用高纯铝板退火组织

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【摘要】：以高纯铝铸锭(纯度99.995%)为原材料,采用热轧的加工方法,制备出了表面及板形良好的大规格高纯铝板,研究了高纯铝板不同温度退火后的显微组织。结果表明:变形量为95%左右的轧制态铝板,280℃分别退火45 min和55 min后,可获得晶粒尺寸良好的等轴组织,其平均晶粒直径分别为62.4μm和128.4μm。末道次的轧制变形量对产品的晶粒度有着决定性的影响,变形量越大,晶粒越细小。
【作者单位】： 西部钛业有限责任公司;
【分类号】：TG146.21
【正文快照】： 随着电子信息产业的飞速发展,薄膜科学应用日益广泛。现代大规模集成电路制作过程中,薄膜的形成主要采用溅射法[1]。溅射镀膜法与其它镀膜方法相比具有:溅射粒子能量高,薄膜致密性好;被溅射材料免遭高温污染,镀膜洁净度高等优点[2]。而溅射沉积薄膜的原材料即为靶材。晶粒细小

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本文编号：1232406