基体偏压对电弧离子镀AlCrSiON涂层结构和热稳定性的影响

发布时间：2017-12-21 14:02

  本文关键词：基体偏压对电弧离子镀AlCrSiON涂层结构和热稳定性的影响　出处：《中国表面工程》2016年06期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：为研究基体偏压对AlCrSiON纳米复合涂层结构、力学性能和热稳定性的影响规律及机制,采用电弧离子镀技术在硬质合金基体上沉积AlCrSiON涂层。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、纳米压痕仪(划痕仪)研究涂层组织结构和力学性能;通过真空退火试验研究涂层的高温稳定性。结果表明:AlCrSiON涂层为致密柱状晶结构,并主要由c-(Al,Cr)N和c-(Al,Cr)(O,N)两相组成,呈现出纳米复合结构。随着偏压的升高,涂层表面的颗粒数目和尺寸减少,组织结构更加致密;硬度和弹性模量均呈现出先增加后减小的趋势,当偏压为 80 V时分别达到最大值30.1 GPa和367.9 GPa。涂层具有良好的高温稳定性,不同偏压下沉积的AlCrSiON涂层经800~950℃热处理后均能够保持良好的结构稳定性及力学性能,但经1 100℃热处理后涂层发生相分解并引发组织结构变化,导致涂层硬度减小。
【作者单位】： 广东工业大学机电工程学院;
【基金】：国家自然科学基金(51275095,U1201245,51522502) 广东省自然科学基金(2014A030311002,2016A050502056)
【分类号】：TG174.44
【正文快照】： 0引言 随着现代高速干式金属切削加工行业的发展,刀具需要满足高切削速度、高进给速度、高可靠性、长寿命、自动化生产等需求[1-2]。但传统刀具由于高温力学性能差、易磨损难以适应现代高效、高精密加工的发展要求,因此需要对刀具进行改进,涂层刀具便是解决高速高效切削的有，

本文编号：1315953