从工艺参数角度探讨AZ系镁合金表面磁控溅射单层铝及氧化铝膜的耐腐蚀和耐磨损性能

发布时间：2018-03-08 20:47

本文选题：镁合金　切入点：磁控溅射　出处：《材料导报》2017年01期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：AZ系镁合金在工业领域具有广阔的应用前景,但其耐腐蚀性能和耐磨损性能差阻碍了其发展。绿色环保的磁控溅射表面涂覆技术是防止镁合金腐蚀和磨损的方法之一。简要地介绍了磁控溅射镀膜技术的原理及特点,评述了当今磁控溅射的重要发展。结合近几年的实验研究,回顾和总结了溅射沉积薄膜技术的发展历程和应用现状,重点分析了溅射工艺参数对薄膜耐腐蚀和耐磨损性能的影响。最后,展望了磁控溅射技术未来的发展趋势。
[Abstract]:AZ series magnesium alloys have a broad application prospect in the industrial field. But its poor corrosion resistance and wear resistance hinder its development. The green magnetron sputtering surface coating technology is one of the methods to prevent magnesium alloy from corrosion and wear. The principle and characteristics of magnetron sputtering coating technology are briefly introduced. The important development of magnetron sputtering is reviewed in this paper. Combined with the experimental research in recent years, the development and application of sputtering deposition thin film technology are reviewed and summarized. The influence of sputtering parameters on the corrosion resistance and wear resistance of the films was analyzed. Finally, the future development trend of magnetron sputtering technology was prospected.
【作者单位】：重庆交通大学机电与车辆工程学院;重庆市计量质量检测研究院;重庆交通大学土木工程学院;重庆大学材料科学与工程学院;重庆国环环境监测有限公司;
【基金】：重庆市质量技术监督局科研计划资助项目(CQZJKY2013001;CQZJKY2014017) 国家质量监督检验检疫总局科技计划资助项目(2014QK263) 重庆市南川区科技计划项目(CX201407) 重庆市基础与前沿研究计划项目(cstc2015jcyjBX0140) 重庆市重点产业共性关键技术创新专项(cstc2016zdcy50002)
【分类号】：TG174.4

【参考文献】

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