金刚石飞切单晶硅的切削力模型及试验研究
本文选题:单晶硅 切入点:金刚石飞切 出处:《中国机械工程》2016年04期 论文类型:期刊论文
【摘要】:首先对金刚石飞切单晶硅的加工特点进行分析,建立了未变形切屑厚度模型及材料去除类型的理论判定条件;然后推导出了适合金刚石飞切加工特点和单晶硅材料特性的数学预测模型;最后进行了切削力正交试验,并通过切削力试验值与模型计算值对比验证了切削力模型的合理性。同时根据试验结果总结了各主要加工参数(切深ap、进给量f、主轴转速n)及其产生的最大未变形切屑厚度hmax对切削力的影响规律。
[Abstract]:Firstly, the processing characteristics of diamond flying cut monocrystalline silicon are analyzed, and the thickness model of undeformed chip and the theoretical judgment condition of material removal type are established. Then the mathematical prediction model suitable for the characteristics of diamond flying cutting and single crystal silicon material is deduced. Finally, the orthogonal test of cutting force is carried out. The rationality of the cutting force model is verified by comparing the cutting force test value with the model calculation value. Based on the test results, the main machining parameters (cutting depth app, feed rate f, spindle speed n) and the maximum invariance of the cutting force model are summarized. The influence of shape chip thickness hmax on cutting force.
【作者单位】: 河南理工大学;
【基金】:国家自然科学基金资助项目(51205112)
【分类号】:TG54
【参考文献】
相关期刊论文 前1条
1 张旭;李浩;肖定邦;侯占强;王兴华;吴学忠;;单晶硅等效机械特性的实验研究(英文)[J];传感技术学报;2012年08期
【二级参考文献】
相关期刊论文 前3条
1 李延涛;等截面直杆扭转问题的进一步研究[J];佳木斯大学学报(自然科学版);2001年01期
2 张泰华,杨业敏,赵亚溥,白以龙;MEMS材料力学性能的测试技术[J];力学进展;2002年04期
3 褚金奎;张段芹;;微构件力学性能测试技术进展[J];中国机械工程;2007年19期
【相似文献】
相关期刊论文 前7条
1 梁志强;王西彬;吴勇波;赵文祥;彭云峰;;垂直于工件平面的二维超声振动辅助磨削单晶硅表面形成机制的试验研究[J];机械工程学报;2010年19期
2 刘志东;汪炜;邱明波;田宗军;黄因慧;;单晶硅高速走丝电火花线切割试验研究[J];南京航空航天大学学报;2008年06期
3 李健;刘志东;邱明波;田宗军;汪炜;;单晶硅放电蚀除机理研究及有限元分析[J];中国机械工程;2010年07期
4 孙蓉,徐洮,薛群基;单晶硅氩离子注入层的微观结构和微观摩擦磨损行为[J];化学研究;2004年03期
5 高长水,刘正埙;单晶硅材料电火花加工试验研究[J];电加工与模具;2003年05期
6 吕传伟;谷安;李明义;吴俊杰;;单晶硅的电解电火花铣削加工工艺研究[J];电加工与模具;2013年05期
7 ;[J];;年期
,本文编号:1650781
本文链接:https://www.wllwen.com/kejilunwen/jiagonggongyi/1650781.html