精密运动平台的五自由度误差同时测量方法

发布时间：2018-04-10 23:35

  本文选题：同时测量 + 五自由度　； 参考：《中南大学学报(自然科学版)》2017年10期

【摘要】：提出一种同时测量运动平台五自由度误差的方法。采用准直的激光光束作为基准,仅以角锥棱镜作为误差测量的敏感器件,由1个斜方棱镜和聚焦透镜并辅以光电位移传感器组成测量系统。研究结果表明:直线运动平台2个直线度误差和3个角度误差可同时测量,且测量头无电缆连接;测量直线度误差的分辨率小于0.1μm,角度误差的分辨率小于1″;直线度和角度测量精度分别达到1μm和5″。测量系统结构简单,易于安装和调节,适用于运动平台多自由度误差精密测量。
[Abstract]:A method for simultaneous measurement of five degrees of freedom error of moving platform is presented.The collimated laser beam is used as the reference and only the corner prism is used as the sensitive device for error measurement. The measuring system is composed of an oblique prism and a focusing lens supplemented by a photoelectric displacement sensor.The results show that two straightness errors and three angle errors can be measured simultaneously, and the measurement head has no cable connection, the resolution of straightness error is less than 0.1 渭 m, the resolution of angle error is less than 1 ".The measurement accuracy of straightness and angle is 1 渭 m and 5 ", respectively.The measuring system is simple in structure, easy to install and adjust, and suitable for precision measurement of multi-degree of freedom error of moving platform.
【作者单位】： 中南大学机电工程学院高性能复杂制造国家重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51475479) 国家高新技术研究发展计划(863计划)项目(2012AA040406) 湖南省自然科学基金资助项目(14JJ2010) 浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室开放基金资助项目(ZKF-201401)~~
【分类号】：TG80

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1 韩e，

本文编号：1733465