三轴超精密车床的控制系统设计及实验
【图文】:
哈尔滨工业大学工学硕士学位论文以及 Moore 和 Precitech 公司,日本的发那科和,英国的 Cranfield 大学等都具有十分先进的技[2,4]。领域的需求,在 20 世纪 60 年代初美国就率先,并始终保持着领先地位。在中小型超精密机床领m 系列和 Moore 公司的 Nanotech 系列数控机床]。在大型超精密机床领域,美国也始终保持着领室所研制的 LODTM 大型超精密金刚石车床,工质量为 1360kg,加工精度可达 28nm,主要用变所需的金属反射镜的加工。该机床与实验室另床以及英国 Cranfield 公司研制的 OAGM-2500最高的 3 台大型超精密车床[2,6]。
图 1-2AHN15-3D 超精密机床[4]国在该领域的发展也很快,Fraunhofer 研究所开发了一种紧凑型设减小了机床尺寸的同时提高了机床的刚度和精度。另外,Kugler 公微细加工超精密机床领域也一直保持着很高的水平。 国内超精密机床的研究现状到二十世纪八十年代,我国才逐渐开始超精密加工及相关设备的研晚。几十年来随着国家的支持和相关研究单位的不断努力,我国的不断发展,并在某些领域达到了世界先进的水平。然而整体上而言精度、稳定性、效率还是机床的数量及功能的完备性都无法和美英是随着研究的推进,,我国和发达国家的差距逐渐缩小。京机床研究所是国内研究超精密机床设备的重要力量,该所于 20超精密机床 SPHER200C,实现了薄壁球面零件的超精密批量加工糙度 Ra 为 10nm,尺寸的一致性达到 0.3~0.7[4]。011 年,北京航空精密研究所推出了我国首台大型光学级加工水平的anosys-1000[7],机床及加工的工件如图 1-3 所示。机床的床身设计
【学位授予单位】:哈尔滨工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2018
【分类号】:TG51
【参考文献】
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本文编号:2667768
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