α-Al 2 O 3 层厚度对TiN/TiCN/Al 2 O 3 /TiN涂层抗氧化性能的影响

发布时间：2020-12-08 00:48

　　为获得抗氧化性能更为优越的TiN/TiCN/Al₂O₃/TiN复合涂层,本文采用中温化学气相沉积（MT-CVD）在WC-Co硬质合金基体表面沉积不同厚度α-Al₂O₃层的TiN/TiCN/Al₂O₃/TiN多层涂层,并在1 000℃下对涂层试样进行氧化实验。通过X射线衍射仪（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）等手段研究α-Al₂O₃层厚度对TiN/TiCN/Al₂O₃/TiN涂层抗氧化性能的影响,确定可显著提高涂层抗氧化性能的α-Al₂O₃层厚度,同时探索涂层的抗氧化机理。结果表明:随着α-Al₂O₃层厚度的增加,TiN/TiCN/Al₂O₃/TiN多层涂层试样氧化后质量增量减少,涂层氧化增厚降低。当α-Al₂O

【文章来源】：硬质合金. 2016年06期 第365-372页

【文章页数】：8 页

【文章目录】：
1 实验材料及方法
    1.1 实验材料
    1.2 氧化实验
    1.3 组织表征
2 实验结果及分析
    2.1 原始态涂层物相
    2.2 原始态涂层形貌
    2.3 涂层试样氧化后的质量增量
    2.4 涂层氧化后物相
    2.5 涂层氧化后形貌
    2.6 涂层氧化后截面EDS线扫描图谱分析
3 结论



本文编号：2904160