烧结NdFeB表面磁控溅射Al膜的工艺及其性能研究
发布时间：2021-01-05 11:01
烧结NdFeB磁体由于具备优异的磁性能而被广泛地应用于各个领域,但由于磁体本身耐腐蚀性较差,限制了其进一步的应用。因此在工业实际应用中往往需要对其进行表面涂层防护。本文采用直流磁控溅射方法在烧结NdFeB磁体表面沉积纯Al膜,分别研究了本底真空度、沉积压力、基体温度、溅射功率密度和旋转速度对Al膜结构与性能的影响,具体研究内容与结论如下:（1）不同工艺参数对Al膜形貌、厚度以及晶体取向的影响:随着本底真空度升高,Al膜的厚度增加,致密度升高。随着沉积压力的升高,Al膜厚度增加,致密度降低。基体温度和旋转速度的的变化对膜层的厚度无明显影响,但随着温度的升高,膜层表面致密度升高,而转速越低膜层致密度越高。随着溅射功率密度的增大,膜层的厚度基本呈线性增长,致密度先升高再降低。工艺参数对Al膜的晶体取向均无明显的影响。（2）不同工艺参数对膜层耐蚀性的影响:磁控溅射Al膜层的耐腐蚀性能随本底真空度的升高而增强。较低的沉积压力制备的Al膜耐蚀性能最佳。在一定的温度范围内,适当提高基体温度有助于增强膜层的耐蚀性能。溅射功率密度过高或者过低都对Al膜的耐蚀性能不利。样品旋转速度越低,Al膜耐蚀性越好。...
【文章来源】：厦门大学福建省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：111 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
图１．１?２０世纪永磁体材料的发展状况［１］??Ｆｉｇ．?１．１?Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ?ｏｆ?ｐｅｒｍａｎｅｎｔ?ｍａｇｎｅｔｓ?ｉｎ?ｔｈｅ?２０ｔｈ?ｃｅｎｔｕｒｙ??
图１．２烧结ＮｄＦｅＢ磁体显微组织示总图【９］??Ｆｉｇ．?１．２?Ｓｉｎｔｅｒｅｄ?ＮｄＦｅＢ?ｍａｇｎｅｔｉｃ?ｎｉｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ?ｄｉａｇｒａｍ??
图１．３烧结ＮｄＦｅＢ磁体的腐蚀过程示意图［１５］??Ｆｉ．１．３?Ｃｏｒｒｏｓｉｏｎｒｏｃｅｓｓ?ｄｉａｒａｍ?ｏｆ?ｓｉｎｔｅｒｅｄ?ＮｄＦｅＢ?ｍａｎｅｔｓ??
【参考文献】：
期刊论文
[1]NdFeB表面电沉积不同厚度Al-Mn镀层的耐蚀性[J]. 詹吟桥,凌国平. 材料保护. 2018(09)
[2]烧结NdFeB永磁体的腐蚀行为[J]. 李红英,郝壮志,刘宇晖,朱望伟,陈云志,段俊颖. 稀有金属材料与工程. 2018(05)
[3]钕铁硼永磁材料表面防护的研究现状[J]. 赵钦浩,徐晋勇,高波,高成. 热加工工艺. 2017(18)
[4]真空蒸发镀膜[J]. 甄聪棉,李壮志,侯登录,郭革新,李玉现. 物理实验. 2017(05)
[5]烧结NdFeB永磁材料腐蚀机理与表面防护技术研究进展[J]. 李红英,郝壮志,刘宇晖,朱望伟,陈云志. 矿冶工程. 2016 (06)
[6]本底真空度对磁控溅射制备Ru薄膜微观结构、膜基结合力及耐蚀性能的影响[J]. 鞠洪博,贺盛,陈彤,陈敏,郭丽萍,喻利花,许俊华. 材料开发与应用. 2016(04)
[7]NdFeB表面镀镍层不同脉冲参数时的形貌及性能[J]. 张艳,张媛,李倩. 材料保护. 2015(04)
[8]The effect of working gas pressure and deposition power on the properties of molybdenum films deposited by DC magnetron sputtering[J]. CAO Hong,ZHANG ChuanJun,CHU JunHao. Science China（Technological Sciences）. 2014(05)
[9]NdFeB表面离子液体电沉积Al-Mn和Al镀层的耐蚀性[J]. 丁晶晶,凌国平. 材料保护. 2014(02)
[10]Effect of AlN Thickness on Structure and Properties of AlN/Al Dual Protective Coatings on NdFeB by DC Magnetron Sputtering[J]. Li Jinlong,Mao Shoudong,Sun Kefei,Song Zhenlun,Huang Feng,Xue Qunji Ningbo Key Laboratory of Marine Protection Materials,Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering,Chinese Academy of Sciences,Ningbo 315201,China. 稀有金属材料与工程. 2012(S1)
硕士论文
[1]烧结NdFeB表面沉积Al/Ni薄膜及其耐腐蚀性研究[D]. 杨旖旎.华南理工大学 2016
本文编号：2958543
【文章来源】：厦门大学福建省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：111 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
图１．１?２０世纪永磁体材料的发展状况［１］??Ｆｉｇ．?１．１?Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ?ｏｆ?ｐｅｒｍａｎｅｎｔ?ｍａｇｎｅｔｓ?ｉｎ?ｔｈｅ?２０ｔｈ?ｃｅｎｔｕｒｙ??
图１．２烧结ＮｄＦｅＢ磁体显微组织示总图【９］??Ｆｉｇ．?１．２?Ｓｉｎｔｅｒｅｄ?ＮｄＦｅＢ?ｍａｇｎｅｔｉｃ?ｎｉｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ?ｄｉａｇｒａｍ??
图１．３烧结ＮｄＦｅＢ磁体的腐蚀过程示意图［１５］??Ｆｉ．１．３?Ｃｏｒｒｏｓｉｏｎｒｏｃｅｓｓ?ｄｉａｒａｍ?ｏｆ?ｓｉｎｔｅｒｅｄ?ＮｄＦｅＢ?ｍａｎｅｔｓ??
【参考文献】：
期刊论文
[1]NdFeB表面电沉积不同厚度Al-Mn镀层的耐蚀性[J]. 詹吟桥,凌国平. 材料保护. 2018(09)
[2]烧结NdFeB永磁体的腐蚀行为[J]. 李红英,郝壮志,刘宇晖,朱望伟,陈云志,段俊颖. 稀有金属材料与工程. 2018(05)
[3]钕铁硼永磁材料表面防护的研究现状[J]. 赵钦浩,徐晋勇,高波,高成. 热加工工艺. 2017(18)
[4]真空蒸发镀膜[J]. 甄聪棉,李壮志,侯登录,郭革新,李玉现. 物理实验. 2017(05)
[5]烧结NdFeB永磁材料腐蚀机理与表面防护技术研究进展[J]. 李红英,郝壮志,刘宇晖,朱望伟,陈云志. 矿冶工程. 2016 (06)
[6]本底真空度对磁控溅射制备Ru薄膜微观结构、膜基结合力及耐蚀性能的影响[J]. 鞠洪博,贺盛,陈彤,陈敏,郭丽萍,喻利花,许俊华. 材料开发与应用. 2016(04)
[7]NdFeB表面镀镍层不同脉冲参数时的形貌及性能[J]. 张艳,张媛,李倩. 材料保护. 2015(04)
[8]The effect of working gas pressure and deposition power on the properties of molybdenum films deposited by DC magnetron sputtering[J]. CAO Hong,ZHANG ChuanJun,CHU JunHao. Science China（Technological Sciences）. 2014(05)
[9]NdFeB表面离子液体电沉积Al-Mn和Al镀层的耐蚀性[J]. 丁晶晶,凌国平. 材料保护. 2014(02)
[10]Effect of AlN Thickness on Structure and Properties of AlN/Al Dual Protective Coatings on NdFeB by DC Magnetron Sputtering[J]. Li Jinlong,Mao Shoudong,Sun Kefei,Song Zhenlun,Huang Feng,Xue Qunji Ningbo Key Laboratory of Marine Protection Materials,Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering,Chinese Academy of Sciences,Ningbo 315201,China. 稀有金属材料与工程. 2012(S1)
硕士论文
[1]烧结NdFeB表面沉积Al/Ni薄膜及其耐腐蚀性研究[D]. 杨旖旎.华南理工大学 2016
本文编号：2958543
本文链接：https://www.wllwen.com/kejilunwen/jiagonggongyi/2958543.html
