不同调制周期MoS 2 /DLC多层薄膜结构及摩擦学性能

发布时间：2021-02-26 07:14

　　采用多靶射频磁控溅射方法,在Si（100）衬底上制备不同调制周期（Λ分别为54 nm、30 nm、18 nm）MoS₂/类金刚石（DLC）多层薄膜.利用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪、透射电子显微镜、纳米压痕仪研究多层膜的形貌、微观结构及力学性能受调制周期的影响规律;利用球-盘摩擦试验机考察薄膜在大气环境下的润滑性能.结果表明:采用交替沉积MoS₂/DLC多层膜可有效抑制溅射MoS₂中柱状结构生长,制备的薄膜结构致密;多层膜硬度随调制周期的增加而增大.透射断面分析表明:多层膜层间界面不平整但周期性结构清晰且致密,其调制周期厚度与试验设定值基本一致.与纯MoS₂薄膜相比,调制周期为54 nm的薄膜具有较好的法向承载及弹性恢复能力,其硬度最高,达7.15 GPa;法向载荷为5 N时,该薄膜在大气环境（相对湿度约30%）下具有最低的摩擦系数（0.09）和最低的磨损率[1.34×10^–7 mm³/（N·m）]. 

【文章来源】：摩擦学学报. 2017,37(01)北大核心

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【参考文献】：
期刊论文
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本文编号：3052248