多弧离子镀沉积Ti/TiN多层薄膜的摩擦磨损及电化学性能

发布时间：2021-07-22 10:17

　　软硬交替多层结构的薄膜因其优异的抗摩擦磨损性能和耐腐蚀特性使其在工程领域具有重要的应用价值。利用多弧离子镀在不锈钢和Si（100）表面沉积了Ti N单层薄膜和3种不同Ti/Ti N调制比的多层膜,利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、CSM摩擦磨损试验机和电化学工作站分别分析了薄膜的结构特征、耐磨损性能和电化学性能。结果表明:多层膜层状结构明显,Ti N相出现（111）面择优取向;Ti与Ti N沉积时间比为1∶5的样品具有较低的摩擦因数（0.26）和磨损率（6.6×10–7 mm3·N–1·m–1）;在3.5%Na Cl溶液中,多层膜样品的腐蚀电流密度较不锈钢基体降低了两个数量级,腐蚀电位较不锈钢基体明显提高,表明多层膜可以提高不锈钢基体的耐腐蚀性。 

【文章来源】：中国表面工程. 2016,29(03)北大核心EICSCD

【文章页数】：6 页

【参考文献】：
期刊论文
[1]低温等离子体辅助脉冲直流磁控溅射制备TiN薄膜[J]. 吕起鹏,李刚,公发全,王锋,卢俊,孙龙,金玉奇.  真空科学与技术学报. 2014(11)
[2]CrN基复合薄膜的结构及摩擦磨损性能研究[J]. 张广安,王立平,刘千喜,薛群基.  摩擦学学报. 2011(02)
[3]电弧离子镀多层Ti/TiN厚膜组织和力学性能研究[J]. 马占吉,武生虎,肖更竭,任妮,赵栋才.  中国表面工程. 2008(03)
[4]Ti/TiN纳米多层薄膜改性层在Troyde’s模拟体液中的抗腐蚀性能[J]. 刘成龙,林国强,杨大智,赵彦辉,邓新绿.  无机材料学报. 2005(04)
[5]Cr12MoV钢表面磁控溅射Ti/TiN涂层的摩擦磨损性能研究[J]. 王君丽,施雯.  摩擦学学报. 2005(02)



本文编号：3296962