Co-Re化学气相沉积设备与控制系统设计

发布时间：2021-11-11 00:21

　　铼（Re）及其合金具有优异的高温力学、抗热疲劳、耐磨、抗腐蚀以及催化等特性,广泛应用于国防、航空航天、电子以及石油化工等领域。在难熔金属Re中加入钴（Co）形成钴铼（Co-Re）合金,可以有效地提高材料的抗氧化能力,拓展Re涂层在高温环境下的使用范围,同时降低制备Re涂层的成本。为了开展铼合金层的低温（<600℃）、低成本、环境友好型化学气相沉积制备技术,采用两个升华室,分别以Co（acac）₂和Re₂（CO）₁₀为前驱体,通过运载气体H₂输运至反应室,在速射武器身管钢基体上（0CrNi2MoVA型钢材）同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层。采用道尔顿分压定律计算出设备升华室和反应室的尺寸。采用计算流体力学CFD方法对Co-Re化学气相沉积设备反应室进行三维数值模拟分析,以分析基底附近速度场是否均匀为目的,研究了不同进气口形状、位置、流量大小以及压力对基底附近流场的影响。对Co-Re化学气相沉积设备机械系统和控制系统进行设计与选型。结论如下:1)Co-Re化学气相沉积设备由... 

【文章来源】：西南科技大学四川省

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【学位级别】：硕士

【部分图文】：

化学镀装置

1.2.1 化学镀(Electroless plating)图 1-1 化学镀装置Co 涂层一般通过化学镀的方法制备，制备装置如图 1-1 所示，不需要外接电只需将镀件沉浸在镀液当中[5]，以镀液作为还原剂，将镀液中的金属离子还原并沉积在镀件上。Co 涂层的制备速率取决于镀液的组分及其浓度、pH 值及。化学镀后一般镀层比较均匀、并且组织结构良好、工艺设备简单且制备出合力一般优于电镀。1.2.2 激光熔覆(Laser Cladding)

1 绪论备工艺物理性能，使得它的高熔点特性应用在高温材通过电子束-物理气相沉积（EB-PVD）、熔盐电等方法制备的。物理气相沉积(EB-PVD)十分有效的制备 Re 涂层的方法之一，沉积过通过电子枪高速射击到基底材料上，原料分子在生长速率和涂层的厚度取决于电子枪的功率、料的挥发速度等。


本文编号：3488237