基于正交微焦准直原理的微测头技术研究

发布时间：2022-11-12 14:25

　　随着微制造技术的飞速发展,特征尺寸介于几μm至1mm的微结构零件或者具有微结构阵列的大型零件在高端装备制造领域广泛应用。其中,微结构的制造精度对这些核心器件的性能至关重要。例如,航空发动机上的阵列式冷却微孔的尺寸与形貌误差会严重损害气膜的冷却效率;柴油发动机喷油嘴的几何形状误差会极大地降低雾化质量,造成发动机燃烧效率下降、污染物排放增加;微型齿轮、微透镜及微透镜阵列、微流体通道、医用微针阵列等微结构器件的性能也极大程度地依赖于微结构的制造精度。高精度的微结构测量技术是控制微结构制造精度的关键,是实现微结构器件优良性能的保障。然而目前微测头技术的测量精度较低,是微结构测量不确定分量的主要来源,无法胜任微结构的高精度测量任务,制约了微结构制造精度的提升。本文围绕微结构三维高精度测量需求,针对现有光纤测头无法实现高精度三维微位移测量、现有弹性测头因无法测量测针受力变形以及测量特性各向异性而导致测量精度降低的问题,从理论建模、仿真分析和实验验证等方面入手,开展了基于正交微焦准直原理的微测头技术研究,为微结构测量提供新的原理与方法。本文主要研究内容与结果如下:第一,开展了基于正交光纤准直的光纤测... 

【文章页数】：125 页

【学位级别】：博士

【部分图文】：

刚性振动测头[71-76,78,81,82]

柔性振动测头[84,86-89,91]

基于成像原理的光纤测头[93,94,100]

【参考文献】：
期刊论文
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[4]纳米定位测量机操作测量结果(英文)[J]. JGER Gerd,GRNWALD Rainer,MANSKE Eberhard,HAUSOTTE Tino,FβL Roland.  纳米技术与精密工程. 2004(02)



本文编号：3706535