CrN/DLC复合薄膜的制备及其摩擦学性能研究

发布时间：2024-02-03 16:47

　　采用阴极电弧离子镀技术沉积了厚度为16μm左右的CrN膜层,然后在其上以阴极电弧+磁控溅射+阳极层离子源复合技术沉积了厚度约3μm的类金刚石(DLC)膜层,分别用扫描电镜、显微硬度计、划痕仪、摩擦磨损试验仪分析和测试了CrN、DLC、CrN/DLC等3种膜层的表面和截面形貌,厚度,显微硬度,结合力以及耐磨损性能。结果表明,采用上述方法制备的CrN/DLC复合膜具有良好的综合性能,膜层界面明晰、结构致密,膜基结合力大于60 N,显微硬度达到2200²600 HV,磨损率为1.8×10^-16m³/(N·m),耐磨损性能优于CrN和DLC单层膜。

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【文章目录】：
1 实验
    1.1 样品制备
    1.2 测试方法
2 结果与讨论
    2.1 表面粗糙度
    2.2 表面形貌和截面形貌
    2.3 显微硬度与结合强度
    2.4 摩擦磨损性能
3 结论



本文编号：3894428