塑性微成形技术研究进展
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【摘要】:随着微纳米科学和微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技术的快速发展,人们对微型零件的需求日益增加。塑性微成形是一种采用塑性变形,成形零件尺寸至少有两个方向在亚毫米量级的微制造方法,具有加工效率高、工艺简单以及成形零件性能优异和精度高等特点,特别适合于微型零件的低成本批量制造。介绍了塑性微成形技术的研究背景、应用领域及其优点,综述了微成形在尺度效应、新设备以及工艺方法等方面的最新研究进展,并论述了微成形技术在新材料(超细晶材料及非晶材料)方面的发展趋势。
【作者单位】: 哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室;
【关键词】: 微成形 尺度效应 微型零件 超细晶材料 微机电系统
【基金】:国家重大科学研究计划(2012CB4102) 国家自然科学基金资助项目(51375111)
【分类号】:TG306
【正文快照】: 1前言随着微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技术的快速发展和逐步进入实用化,人们对微型零件的需求日益增加[1],尤其是应用到微系统的三维微结构零件,例如,微电子元器件、微型执行机构的微型齿轮类零件、纺织印染领域阵列微喷孔类零件、生物医疗以及光学领
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