半球陀螺金属化膜层的均匀性模拟分析

发布时间：2017-06-18 14:12

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【摘要】：该文将光学模拟技术与镀膜工艺结合,采用光线追踪程序来模拟溅射粒子在振子表面膜层的分布状态。通过模拟和相关实验验证,当设备相对角度β=10°、φ=60°时,振子表面膜层的均匀性最高,模拟值与实际测试值匹配度较好,误差在7%以内。
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第二十六研究所;
【关键词】： 半球谐振陀螺 金属化 镀膜 模拟 均匀性
【基金】：重点预研基金资助项目(9140A09012015DZ36025)
【分类号】：V241.5;TG174.4
【正文快照】： 0引言半球谐振陀螺仪是一种无转子的高可靠、长寿命和高精度的振动陀螺仪。其突出的稳定性、良好的抗冲击振动和温度性能,不仅满足了飞机的性能要求,同时也在航空、航天和民用领域具有很大的应用前景[1-3]。半球谐振子是半球陀螺的核心部件,它由石英材料加工而成。为了控制振

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