溅射工艺参数对TiAlSiN涂层硬度及膜基结合力的影响

发布时间：2017-06-25 18:12

  本文关键词：溅射工艺参数对TiAlSiN涂层硬度及膜基结合力的影响，，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：近年来超硬涂层的出现,为高速切削、干式切削的高质量刀具的发展,提供了契机。本文开展了磁控溅射法制备TiAlSiN涂层的工艺研究,在不同工艺下,获得了厚度2.0~4.0μm的TiAlSiN涂层,运用纳米压入硬度测试仪、划痕仪和洛氏硬度计等对涂层性能进行表征,研究了制备工艺参数对涂层硬度、膜基结合力的影响规律。结果表明:随着氮氩比、沉积温度和基体负偏压的增大,纳米硬度和弹性模量都是先升高后降低。靶基距为8 cm、温度为100℃、氮氩比为1/3、靶电流为1.5 A、基体负偏压为-100 V时涂层的平均纳米硬度超过40 GPa,达到了超硬水平;涂层与高速钢基体的膜基结合力随着靶基距的加大而降低,随着磁控电流的增大而增大;在沉积温度和基体负偏压由低到高变化时,涂层结合力变化趋势一致,都是先升高后降低。
【作者单位】： 北京航空航天大学机械学院702系;北京航天控制仪器研究所;
【关键词】： TiAlSiN涂层 磁控溅射 溅射工艺参数 膜基结合力
【基金】：国家自然科学基金项目(NSFC:11275020) 国家04专项(2014ZX04012012) 中航通飞科技发展项目(TFKY2013002)
【分类号】：TG174.4
【正文快照】： 切削刀具在现代制造业的发展中发挥着重要作用,对刀具涂层可使刀具的切削能力大大提高。近年来,刀具涂层技术飞速发展,从最早的TiN涂层,已开发出TiCN、(Ti,Al)N、Al203、CrN、C3N4、ZrN等硬涂层、超硬涂层材料,以及Mo^、WSj、WC/C等软涂层材 料[1。文献[5]采用阴极电弧离子

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本文编号：483083