复合离子镀TiCN薄膜的结构与耐蚀性

发布时间：2017-07-26 19:33

  本文关键词：复合离子镀TiCN薄膜的结构与耐蚀性

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【摘要】：TiCN薄膜的耐蚀性研究对于扩大其应用领域具有重要作用。采用多弧离子镀和磁控溅射复合离子镀技术在304不锈钢表面制备了TiCN薄膜,研究了工艺参数中脉冲偏压对薄膜结构与耐蚀性能的影响规律。结果表明:随着脉冲偏压幅值的增大,TiCN薄膜表面白色颗粒、针孔及凹坑的尺寸、数量减少,其表面形貌得到改善,薄膜主要由TiCN相组成,随着偏压幅值的增加出现(111)晶面择优取向;随着脉冲偏压幅值的增大,TiCN薄膜在3.5%NaCl中的耐蚀性逐渐提高,在偏压为-300 V时薄膜的自腐蚀电流密度为3.853μA/cm~2,是基体的0.51倍;薄膜在3.5%NaCl溶液中的阻抗谱呈现2个时间常数,电极过程受电化学反应和传质过程控制,在一定的脉冲偏压范围内,薄膜容抗弧的曲率半径和阻抗值也随偏压幅值的升高而增大,即膜层的抗蚀能力增强。
【作者单位】： 辽宁工程技术大学材料科学与工程学院;天津师范大学物理与材料科学学院;冠铨(山东)光电科技有限公司;
【关键词】： 复合离子镀 TiCN薄膜 脉冲偏压 结构 耐蚀性
【分类号】：TG174.4
【正文快照】： 3.冠铨(山东)光电科技有限公司,山东济宁272000)0前言传统的Ti C薄膜硬度比Ti N高,但由于脆性太大使得其应用受到限制。Ti N薄膜由于具有高硬度、低摩擦系数、高的膜基结合力等优良的综合力学性能,已成为目前工业研究和应用较为广泛的薄膜材料之一;但是Ti N薄膜的抗氧化温度仅

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本文编号：578020