304不锈钢化学机械抛光工艺参数研究

发布时间：2017-08-03 06:22

  本文关键词：304不锈钢化学机械抛光工艺参数研究

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【摘要】：为优化抛光效果、节省成本及提高效率,研究抛光压力、抛光液流量、抛光转速和抛光时间对304不锈钢材料去除率和表面粗糙度的影响。实验结果表明:在抛光压力为13.79kPa、抛光液流量为15mL/min、抛光时间为35min、抛光转速为60r/min的工艺条件下,304不锈钢去除速率达到226.56nm/min,表面粗糙度降至6nm,既节约了成本又保证了最好的表面粗糙度和较高的材料去除速率。
【作者单位】： 河南科技学院机电学院;驻马店技师学院机械工程系;河南理工大学机械与动力工程学院;
【关键词】： 化学机械抛光 不锈钢片 材料去除率 表面粗糙度
【基金】：国家自然科学基金面上项目资助(NO.51375149)
【分类号】：TG175.1;TG580.692
【正文快照】： 随着科学技术的不断发展,柔性显示器正逐渐取代平板显示,成为新一代显示器。在柔性显示器件中,柔性衬底是研发柔性显示器的基础[1 2]。相比传统的玻璃和聚合物衬底,金属薄片衬底有耐高温及良好的阻水、阻氧性能,成本低廉、易获取,且静电效应低等特点。其中,不锈钢材料易获取,

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本文编号：613033