微透镜阵列的飞秒激光加工方法

发布时间：2017-08-12 01:35

  本文关键词：微透镜阵列的飞秒激光加工方法

  更多相关文章： 熔融光刻胶法 反应离子束刻蚀技术 微喷打印法 飞秒激光加工法 热压印法

【摘要】：为研究常用的微透镜制造方法,通过熔融光刻胶法、反应离子束刻蚀技术、微喷打印法、飞秒激光加工法、热压印法等的对比,表明采用飞秒激光加工以及局部腐蚀的方法,能够加工各种形状的微透镜阵列,而且加工时间短,制造成本低,微透镜最小特征尺寸可以达到30μm以内。将飞秒激光加工的微透镜阵列作为模板,运用热压印技术进行复制,不仅能够获得质量良好的微透镜阵列,还能够批量化生产,减小制造成本。
【作者单位】： 陕西国防工业职业技术学院;
【关键词】： 熔融光刻胶法 反应离子束刻蚀技术 微喷打印法 飞秒激光加工法 热压印法
【基金】：陕西国防工业职业技术学院科研项目(Gfy15-09)
【分类号】：TG665
【正文快照】： 微透镜阵列的光学性能和制造方法已经有相关的研究。然而,在微透镜排列和布置方面还有许多问题值得研究,例如,不论微透镜如何排列和布置,总会在相邻微透镜之间形成空隙,而这些空隙将会极大地影响出光强度和均匀度,因为将会有部分光落在这个空隙内,而不会被微透镜会聚,形成所谓

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 焦国华;李育林;胡宝文;;Mirau相移干涉法测量微透镜阵列面形[J];光子学报;2007年10期

中国硕士学位论文全文数据库 前2条

1 蒋丰泽;微透镜阵列注射压缩工艺与模具技术研究[D];中南大学;2014年

2 尹可;基于微透镜阵列的多光束共焦成像系统若干问题的研究[D];哈尔滨工业大学;2013年

，

本文编号：659182