微磨料水射流加工技术研究现状

发布时间：2017-08-24 06:47

  本文关键词：微磨料水射流加工技术研究现状

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【摘要】：现代制造技术正朝着产品小型化和加工过程微型化的方向不断发展,用于加工微型零件的材料越来越难加工,对加工精度的要求也越来越高,当前微细加工技术面临巨大挑战.近十几年来,微磨料水射流加工技术(射流直径10~100μm)快速发展,已实现对金属、陶瓷、光学玻璃、半导体以及复合材料等难加工材料的精密微细加工,其加工精度和表面质量已达到激光加工水平,是一种具有广阔应用前景的新型微细加工技术.为进一步了解该项技术的最新发展动态,本文介绍了微磨料水射流加工技术的基本原理、研究现状以及未来的发展趋势.
【作者单位】： 哈尔滨工业大学精密工程研究所;
【关键词】： 微磨料水射流 水射流切割 水射流加工 水射流抛光
【分类号】：TG664
【正文快照】： 近年来,为适应产品小型化和加工过程微型化的发展趋势,现代制造技术不断向精密微细加工技术的开发及应用与制造系统自动化两大方向发展,精密微细加工技术已经成为衡量一个国家制造技术整体水平的重要标志之一[1].随着工业陶瓷、光学玻璃、高性能复合材料等的广泛应用,光学电子

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