氮气流量对铝合金表面TiN镀层的影响

发布时间：2017-09-04 08:17

  本文关键词：氮气流量对铝合金表面TiN镀层的影响

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【摘要】：采用磁控溅射技术在铝合金ZL109表面沉积了Ti N镀层。通过XRD、SEM、MH-6显微硬度计研究不同氮气流量对镀层界面形貌、析出相及显微硬度的影响。结果表明:在基本工艺参数一致的情况下,随着氮气流量的增大,镀层的致密度越来越好,厚度增加;XRD结果表明镀层相结构主要为Ti N,有明显的择优取向;Ti N镀层的显微硬度随着氮气流量的增加而升高。
【作者单位】： 安徽机电职业技术学院机械系;
【关键词】： 氮气流量 TiN镀层 界面形貌 显微硬度
【基金】：安徽省质量工程项目(2014jxtd098) 安徽机电职业技术学院院级自然科学项目(2015yjzr04)
【分类号】：TG174.4
【正文快照】： 0引言为了进一步拓宽铝合金的应用范围,克服其硬度低、耐磨性差的缺点,往往采用表面改性技术在其表面生成硬质薄膜[1],以达到改善其表面性能的目的。利用多弧离子镀方法在相应的基体表面制备Ti N涂层,可以提高基体的耐磨性、高温抗氧化性[2~4]。为了改善铝合金的磨损性能,李琦

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本文编号：790364