高回转精度微柱状电极电化学加工模型及试验

发布时间：2017-09-14 17:22

  本文关键词：高回转精度微柱状电极电化学加工模型及试验

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【摘要】：为实现高回转精度微柱状电极的精确高效在线制备,对微电极电化学刻蚀过程进行了深入的研究与改进。首先,根据电化学刻蚀原理,分析了电极旋转对柱状电极加工的影响,试验证明电极旋转可以提高电极的回转精度;其次,根据试验归纳,确立了加工电压、浸液深度和电极转速之间的函数关系,建立了高回转精度微柱状电极加工控制数学模型;最后,在上述模型的指导下,选择优化的加工参数组合,成功加工得到一系列直径为100μm左右、同轴度误差小于1μm的柱状电极。
【作者单位】： 山东大学力学与机电装备联合工程技术研究中心;山东大学高效洁净机械制造教育部重点实验室;
【关键词】： 高回转精度 微柱状电极 电化学刻蚀 电极旋转 数学模型
【基金】：国家自然科学基金(51305238) 中国博士后科学基金(2015M572023) 山东省自然科学基金(ZR2015PE016) 山东大学(威海)青年学者未来计划(2015WHWLJH03)~~
【分类号】：TG662
【正文快照】： 网络出版地址:www.cnki.net/kcms/detail/11.1929.V.20160505.1507.002.html引用格式:李名鸿,刘勇,郭春生,等.高回转精度微柱状电极电化学加工模型及试验[J].航空学报,2016,37(12):3864-3872.LI MH,LIU Y,GUO C S,et al.Model and experimental on fabrication of cylindrical，

本文编号：851309