化学机械抛光超薄SUS304不锈钢抛光液研究

发布时间：2017-09-15 08:03

  本文关键词：化学机械抛光超薄SUS304不锈钢抛光液研究

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【摘要】：柔性显示已成为下一代显示技术的研究热点,不锈钢材料是柔性大尺寸显示器衬底的主要材料之一。为优化不锈钢表面的超光滑无损伤加工,采用化学机械抛光(CMP)技术,通过正交试验,研究磨料粒度尺寸、分散剂、氧化剂、磨料质量、缓蚀剂用量等因素对抛光后材料去除率和表面粗糙度的影响。试验结果表明:磨料粒度尺寸对表面粗糙度的影响最大,其次为双氧水、丙三醇、草酸、磨料质量;影响材料去除率的因素排列是磨料粒度尺寸、磨料含量、丙三醇含量、草酸含量、双氧水含量。
【作者单位】： 河南理工大学机械与动力工程学院;驻马店技师学院机械工程系;河南科技学院机电学院;
【关键词】： 不锈钢片 化学机械抛光 抛光液 材料去除率 表面粗糙度
【基金】：国家自然科学基金面上项目资助(NO.51375149)
【分类号】：TG175.1;TG580.692
【正文快照】： 柔性显示器具有超薄、质量轻、耐用、储存量大、设计自由、可挠曲、可收卷和耐冲击等性能[1 2],广泛应用于工业、民用及军事行业[3 7],成为研究热点。柔性显示器对柔性衬底的表面质量及性能要求非常严格,表面粗糙度须小于5 nm,波纹度小于0.1μm。不锈钢材料性能出色、成本低

【参考文献】

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1 陈佳鹏;陈绍坤;李庆;秦洪权;苏建修;;用碱性抛光液化学机械抛光304不锈钢片研究[J];金刚石与磨料磨具工程;2016年02期

2 郑海凤;魏昕;谢小柱;杨向东;胡伟;;不锈钢基板化学机械抛光过程温度研究[J];金刚石与磨料磨具工程;2014年02期

3 王s，

本文编号：855270