电弧离子镀CrN_x薄膜的组织结构与性能研究

发布时间：2017-09-28 16:01

  本文关键词：电弧离子镀CrN_x薄膜的组织结构与性能研究

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【摘要】：采用电弧离子镀技术在高速钢(HSS)基体上制备CrN_x薄膜,考察氮气气压对CrN_x薄膜的表面形貌、结构、显微硬度及摩擦系数的影响。用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、摩擦磨损试验机等分别测试分析薄膜的表面形貌、薄膜的结构、显微硬度以及摩擦系数。结果表明,氮气气压较低时(0.1Pa),薄膜以Cr相为主;随着氮气气压的升高(0.5~4.0Pa),薄膜中出现了Cr_2N和Cr的混合相,薄膜以Cr_2N相为主;随着氮气气压的升高,薄膜的显微硬度在氮气气压为0.5Pa和4.0Pa时出现极值,CrN_x薄膜的最大摩擦系数和平均摩擦系数都有所减少。
【作者单位】： 沈阳理工大学理学院;中国科学院金属研究所专用材料与器件研究部;辽宁省产品质量监督检验院;
【关键词】： CrNx薄膜 电弧离子镀 氮气分压 显微硬度 摩擦系数
【基金】：辽宁省自然科学基金资助项目(2014020091)
【分类号】：TG174.4
【正文快照】： 在高速钢镀上氮化物涂层是提高其寿命的一种方法。与在工业中广泛应用的Ti N薄膜相比,氮化铬具有硬度更高、耐腐蚀性更好[1-2]等优点,且Cr Nx薄膜便于大批量工业生产,更具有实用价值,已逐步成为研究高速切削刀具、刃具所关注的热点。目前,Cr Nx薄膜制备可以用各种物理气相沉积

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本文编号：936733