基于MEMS工艺的微起爆器性能研究

发布时间：2023-03-11 04:11

　　针对MEMS火工品低能化、集成化技术要求,设计了一种基于MEMS工艺的微起爆器,通过仿真计算获得了基体材料、换能元材料、火工药剂与微起爆器起爆性能的影响规律,确定了微起爆器的结构参数;通过MEMS工艺完成微起爆器一体化集成制作,对结构参数以及起爆性能进行了测试,结果表明结构尺寸与设计尺寸误差小于6%;微起爆器发火电压小于3V,装药直径1mm、装药量2.0mg时,可以可靠起爆CL-20炸药,实现了低能化、集成化的要求,为MEMS火工品提供技术支撑。

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【文章目录】：
1 微起爆器仿真计算
    1.1 物理模型
    1.2 仿真计算
        1.2.1 基体材料对起爆性能的影响规律
        1.2.2 换能元材料对起爆性能的影响规律
        1.2.3 火工药剂对起爆性能的影响规律
2 微起爆器集成及表征分析
    2.1 一体化集成制作
    2.2 性能表征
3 微起爆器性能测试
    3.1 临界发火电压测试
    3.2 输出性能测试
4 结论



本文编号：3759173