可控阴极弧制备的梯度及调制多层CrN/Cr薄膜的组织结构和力学性能研究

发布时间：2021-09-27 20:10

　　采用可控阴极弧的沉积方法在GCr15基体上制备了梯度和调制多层结构的氮化铬/铬（CrN/Cr）薄膜,对不同的CrN/Cr薄膜的组织结构、力学性能和耐磨性能进行了研究。通过扫描电镜、能量散射谱、X射线衍射、纳米压痕、划痕试验、微摩擦磨损测试仪及形貌测试仪对薄膜的组织结构、成份、力学性能、结合强度及耐磨性能进行了分析。结果表明:制备的薄膜厚度约5.5μm,梯度结构及调制多层CrN/Cr薄膜呈现明显的立方CrN（111）（200）取向,薄膜力学性能（包括硬度,模量,结合强度等）及耐磨性能均与不同的结构及调制周期相关。梯度结构的CrN/Cr薄膜硬度达到25 GPa,结合强度55 N,磨损率为32.754×10-6mm3/N·m,力学及耐磨性能明显优于其它多层结构,说明梯度结构可有效地改善CrN/Cr薄膜的性能。 

【文章来源】：真空科学与技术学报. 2015,35(12)北大核心CSCD

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
1 实验方法
2 实验结果和分析
    2. 1 结构分析
    2. 2 微观结构和表面形貌
    2. 3 硬度、结合力分析
    2. 4 摩擦磨损试验分析
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]脉冲电压对HPPMS制备CrN薄膜的组织结构与力学性能的影响[J]. 夏飞,张栋,邹长伟,柯培玲,王启民,汪爱英.  真空科学与技术学报. 2014(10)
[2]活塞环表面CrN基复合膜的组织结构与摩擦副匹配机理研究[J]. 蔡志海,张平,杜军,赵军军.  真空科学与技术学报. 2010(05)



本文编号：3410542