调制周期对TiN/Ti多层膜组织结构和结合力的影响

发布时间：2022-09-30 15:59

　　为了阐明调制周期对薄膜微观组织及薄膜与基体结合力的影响,采用反应磁控溅射在Ti6Al4V基板上交替沉积了Ti层及TiN层制备了TiN/Ti多层膜。利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、显微硬度仪和划痕仪测量分析了薄膜的晶体结构、微观组织、硬度以及薄膜与基体之间的结合力。研究结果表明:TiN/Ti多层膜中均存在TiN,Ti和Ti2N 3种相。TiN/Ti多层膜均以柱状晶方式生长,在调制周期较大（5层）时,TiN和Ti层的界面清晰;随着调制周期的减小（层数增加）,TiN和Ti层的界面逐渐消失。与单层TiN薄膜相比,多层TiN/Ti薄膜的硬度显著提高;但随着薄膜层数的增加,多层TiN/Ti薄膜硬度略微降低。当调制周期为80nm（30层）时,薄膜与基体的结合力明显提高,达到73N。 

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
0引言
1材料与方法
2结果与分析
    2.1调制周期对TiN/Ti多层膜晶体结构的影响
    2.2调制周期对TiN/Ti多层膜微观组织的影响
    2.3调制周期对TiN/Ti多层膜力学性能的影响
3结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]TiN/Ti多层膜调制比对摩擦磨损行为影响的研究[J]. 龚海飞,邵天敏,张晨辉,徐军.  无机材料学报. 2008(04)



本文编号：3683849