物理气相沉积多元、多层金属陶瓷涂层的研究现状

发布时间：2024-01-27 03:44

　　物理气相沉积(Physical vapor deposition,简称PVD)硬质金属陶瓷涂层在各行业的应用广泛,并逐渐成为促进国民行业发展的重要支柱之一。硬质涂层性能对于工模具加工特性的影响极为关键。近些年,由于我国巨大的市场需求,致使我国涂层技术发展速度迅猛,在高硬度、多组元、多层膜研究领域已取得巨大进步。但为满足高强度材料的制造及复杂成型加工对高性能硬质涂层的迫切需求,超硬、耐磨、抗高温已成为开发高性能硬质涂层的关键技术指标。详细介绍了掺杂IVB族、VB族和VIB族元素对TiN、TiAlN涂层性能的影响,以及多层化、周期化涂层技术在强化硬质涂层性能方面的研究现状,并针对研究现状提出拟解决的问题。

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图1作者制备的TiN(左三)、TiAlN(右三)涂层刀具及模具

图2TiAlN、TiAlCrN涂层的高温氧化性能[15]

图3TiAlMoN涂层的相结构[16]

图4TiAlSiN涂层刀具及XRD图谱

本文编号：3886240