具有弹性薄板气浮垫的关键制造工艺研究

发布时间：2017-09-23 14:09

  本文关键词：具有弹性薄板气浮垫的关键制造工艺研究

  更多相关文章： 气浮垫 弹性薄板 真空钎焊 显微组织 研磨 抛光

【摘要】：随着精密与超精密技术的发展,对加工机械与检测技术的要求也随之提高,气浮垫的加工精度也因此提出了更高的要求。对于具有弹性薄板气浮垫的制造工艺的研究还不够到位,尤其是关键部位的制造工艺,因此具有弹性薄板气浮垫的关键部位制造技术是气浮垫制造领域的难点问题。本课题主要对具有弹性薄板气浮垫的关键制造工艺进行研究,实现滑块和弹性薄板的较好连接。本文主要采用了三种方案即金属粘接、非真空条件下的焊接、真空钎焊对弹性薄板和滑块的连接进行可行性尝试,结果表明金属粘接和非真空条件下的焊接并不能满足要求,而采用真空钎焊焊接气浮垫的方案,能够实现弹性薄板和滑块的良好连接。但是影响焊接接头质量的因素很多,可能导致钎缝内部缺陷,造成焊接接头的力学性能降低,通过分析产生焊接接头缺陷的原因,实验中对钎焊主要的工艺参数(真空度、加热速率、稳定时间、钎焊温度和保温时间以及冷却方式)合适的选取,并且对焊接接头的显微组织进行了金相分析,分析结果表明钎焊接头组织均匀,无明显缺陷,得到了满足要求的焊接接头,证明了通过真空钎焊可以实现弹性薄板和滑块的良好连接。同时为了实现具有弹性薄板的气浮垫的充气研磨抛光加工,采用了一种可以使得气浮垫带气研抛的旋转密封装置,能够让具有弹性薄板的气浮垫在研磨抛光实验设备上自动充气研磨抛光。研磨抛光过程中影响具有弹性薄板气浮垫的表面质量的因素有很多,归纳下来,主要是以下参数：研磨盘的材质及转速、磨粒的种类和粒径、研磨液的浓度、研抛的压力。对每个影响参数采用了最佳优化组合,在优化组合参数的条件下,研磨抛光得到的具有弹性薄板气浮垫的表面平整光滑,无划痕,并且达到镜面效果,证明了通过本文的研究可以实现具有弹性薄板气浮垫的充气研磨抛光。
【关键词】：气浮垫 弹性薄板 真空钎焊 显微组织 研磨 抛光
【学位授予单位】：西安工业大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2016
【分类号】：TG49;TG454;TG580.6
【目录】：

• 摘要3-5
• Abstract5-9
• 1 绪论9-17
• 1.1 综述9-11
• 1.2 具有弹性薄板气浮垫传统制造工艺11-12
• 1.3 具有弹性薄板气浮垫的结构与原理12-15
• 1.4 本文的主要内容15-16
• 1.5 本章小结16-17
• 2 气浮垫关键制造工艺总体方案17-26
• 2.1 金属粘接17-20
• 2.1.1 金属粘接概述17-18
• 2.1.2 金属粘接工艺方案18
• 2.1.3 剥离强度测试18-20
• 2.2 非真空钎焊20-22
• 2.3 真空钎焊22-25
• 2.3.1 真空钎焊的优缺点22
• 2.3.2 真空钎焊的焊接接头的形成机理22-25
• 2.4 本章小结25-26
• 3 真空钎焊气浮垫的实验条件及工艺方案26-38
• 3.1 实验材料26-28
• 3.1.1 母材的制备26
• 3.1.2 钎料的选择26-28
• 3.2 实验设备28-29
• 3.3 钎焊工艺参数的选取29-33
• 3.3.1 真空度的选择29-30
• 3.3.2 加热速率30
• 3.3.3 稳定温度和保温时间30-31
• 3.3.4 钎焊温度及保温时间31
• 3.3.5 冷却方式31-33
• 3.4 焊接表面及气密性检测33-34
• 3.4.1 外观检测33-34
• 3.4.2 气密性检测34
• 3.5 焊接接头显微组织分析34-37
• 3.5.1 金相试样制备35
• 3.5.2 焊接接头的宏观组织分析35
• 3.5.3 焊接接头的微观组织分析35-37
• 3.6 本章小结37-38
• 4 具有弹性薄板气浮垫的研磨抛光实验38-46
• 4.1 实验材料38
• 4.2 实验仪器38-40
• 4.3 实验工作环境40
• 4.4 具有弹性薄板气浮垫的充气研磨抛光加工工艺路线40-43
• 4.5 实验内容43-44
• 4.6 气浮垫研磨抛光实验结果44-45
• 4.6.1 气浮垫的研磨实验结果44
• 4.6.2 气浮垫的抛光实验结果44-45
• 4.7 本章小结45-46
• 5 气浮垫中弹性薄板的变形量检测46-50
• 5.1 实验设备简介46-47
• 5.2 实验过程及结果47-49
• 5.3 本章小结49-50
• 6 结论50-53
• 6.1 结论50
• 6.2 课题展望50-53
• 参考文献53-56
• 攻读硕士学位期间发表的论文56-57
• 致谢57-59

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 杨杰，，彭建设;跟随力作用下弹性薄板的稳定问题[J];武汉化工学院学报;1996年03期

中国重要会议论文全文数据库 前1条

1 袁新浩;王志瑾;;弹性薄板的变厚度隔声等效方法研究[A];第二十一届全国振动与噪声高技术及应用学术会议论文集[C];2008年

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 郝亚娟;弹性薄板与流体耦合作用的力学分析[D];燕山大学;2010年

中国硕士学位论文全文数据库 前2条

1 贾云龙;具有弹性薄板气浮垫的关键制造工艺研究[D];西安工业大学;2016年

2 李中政;弹性薄板的近域声场特性研究[D];哈尔滨工程大学;2011年

本文编号：905663