一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计

  本文关键词：硅微机械谐振压力传感器技术发展，，由笔耕文化传播整理发布。

一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计

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硅微谐振式压力传感器芯体设计与制作工艺研究

硅微谐振式压力传感器芯体设计与制作工艺研究_机械/仪表_工程科技_专业资料。压力...硅微压阻式压力传感器由压力敏感膜片和制作在其 表面上的压敏电阻两部分构成,当...

硅谐振梁式压力传感器模拟计算

图 1 硅微结构谐振梁式压力传感器敏感结构 2 谐振敏感结构 图 1 所示为硅微结构谐振梁式压力传感器的敏感部分,方膜片为一次敏感元件, 半边长和厚度分别用 A,H...

微压力传感器参数设计及灵敏度分析

一种硅微谐振式压力传感... 7页 1下载券 平膜片式薄膜压力传感器... 7页 ...1芯片结构示图 如果使用恒流源激励时,电桥的输出与力敏感电阻之间的 关系如式(...

硅微机械谐振压力传感器技术发展

简单介绍硅微机械谐 振压力传感器的分类及工作原理,针对压力敏感膜片与谐振器复合...是传感器芯体设计,其芯体结构及其激励与检测方 式对传感器精度和稳定性影响最大...

硅微压阻式压力传感器

一种硅微压阻式压力传感器的研究 机械设计与制造 ...应用小挠度理论设计计算了压阻式硅传感器方形弹性膜片...的原理, 可以将其分为压阻式、 电容式、谐振式...

硅压力传感器芯片设计分析与优化设计

一种硅微谐振式压力传感器... 7页 2财富值 压力...分析了半导体硅压阻式压力传感器方形膜片的受力分布,...从压阻式压力传感器芯 片的敏感膜结构来看,有圆形...

压阻式微型压力传感器敏感结构设计

省微/纳米系统重点实验室.陕西西安 摘要:在设计某一压阻式压力传感器特定敏感...为零。若将4个电阻环绕硅膜片中心同向 布置,当膜片受到外界压力作用时,一对...

压阻式微型压力传感器敏感结构设计_易选强

压阻式微型压力传感器敏感结构设计_易选强_机械/仪表_工程科技_专业资料。2008年 12月 第 26 卷第 6 期 西北工 业大学学报 Jo urnal o f N o rthw est...

谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究

度法展开研 [1 -5] 2 谐振式硅微结构压力传感器的结构及数 学模型图 1 为谐振式 硅微结构压 力传感器的复 合敏感结 构 , 包括方膜片、 谐振子和边界 ...

【论文】一种硅微压阻式压力传感器的研究

研究了一种量程为20kPa的压阻式微压力传感器,同时采用ANSYS仿真得出影响传感器性能的一些规律。应用小挠度理论设计计算了压阻式硅传感器方形弹性膜片结构,并对圆形膜片...

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