硅微谐振式压力传感器芯体设计与制作工艺研究

  本文关键词：硅微机械谐振压力传感器技术发展，由笔耕文化传播整理发布。

【论文】基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作

基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作_专业资料。采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构...

硅谐振式压力微传感器模型与开环特性测试

基于谐振式硅微结构压力传感器幅、相频率特性的分析,利用北京航空航天大学微传感器实验室研制的谐振式硅微结构传感器开环测试系统的测试实验结果和Matlab实验数据...

一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计

2.学位论文 任森 硅微谐振式压力传感器芯体设计与制作工艺研究 2007 基于MEMS技术的硅微谐振式压力传感器是目前精度最高的硅微压力传感器,它通过检测物体的固有...

一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计

根据正方形膜片的变形和应力分布情况,提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法,设计了两种正方形间接连接式压力敏感膜片.在相同的膜片面积下,新膜片与...

【论文】一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计

提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法,...

谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究

谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究樊尚春 乔少杰 张轩 北京 100083) ( 北京航空航天大学仪器科学与光电工 程学院 摘要 * 本文研究了谐振式硅微结构...

【论文】硅微机械谐振压力传感器技术发展

硅微机械谐振压力传感器技术发展_机械/仪表_工程科技_专业资料 暂无评价

【论文】电磁激励微谐振式传感器的设计与制作

电磁激励微谐振式传感器的设计与制作_专业资料。利用微电子机械加工技术成功研制...工艺制作采用体硅加工工艺,并且采用一种减小封装应力的结构完成压力传感器的真空...

【论文】硅微机械谐振式压力传感器闭环方法

硅微机械谐振式压力传感器闭环方法_专业资料。提高硅微机械谐振式压力传感器的性能指标有很多方法,如何对已知敏感结构的输出量程范围内所有谐振频率点进行实时闭环...

【论文】静电激励硅微机械谐振压力传感器设计

静电激励硅微机械谐振压力传感器设计_机械/仪表_工程科技_专业资料。64 传感器与微系统 (Transducer and Micosrystem Technologies) 2 ...

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