硅微机械谐振式压力传感器闭环方法

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硅谐振式压力微传感器闭环系统

硅谐振式压力微传感器闭环系统_兵器/核科学_工程科技_专业资料。2005 年 3 月...目前对硅谐振式微传感器检测方法的研究, 国内外都取得了一些实用成果 . 资料表明...

硅微机械谐振压力传感器技术发展

硅微机械谐振压力传感器是目前精度最高、长期稳定性最好的压力传感器之一,是航空...测信号均会减小,这样不仅增加了闭环控制的难度, 同时也会对传感器精度产生影响。...

硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理

Key words: resonant sensor; MEM S; closed loo p syst em ; combined sensing principl e 1 引言 硅微机械谐振式压力传感器具有高精度、 小型 常采用闭环...

一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计

根据正方形膜片的变形和应力分布情况,提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法,设计了两种正方形间接连接式压力敏感膜片.在相同的膜片面积下,新膜片与原有...

很重要-谐振式微小型压力传感器数字闭环系统

硅微机械谐振式压力传感... 3页 免费 一种硅微谐振...32 No111 l 谐振式微小型压力传感器数字闭环系统周...方法可直接应用于 硅谐振式微传感器, 对实现硅谐振...

硅微机械谐振式陀螺仪

介绍了硅微机械谐振式陀螺仪的工作原理 给出了硅微...2.学位论文 易康 半球谐振陀螺误差分析和滤波方法...陀螺的闭环检测原理出发,对半球谐振陀螺闭环检测误差...

硅微谐振式压力传感器芯体设计与制作工艺研究

硅微谐振式压力传感器芯体设计与制作工艺研究_机械/仪表_工程科技_专业资料。压力...传感器闭环子系统的优化设计;微弱信号的检测、信号之间的抗耦合干 扰技术及其实现...

第五章 微机械传感器

Csen 具有硬中心的硅电容压力传感器 Csen 与膜片式...开环模式工作,硅 特点: 谐振式则不同,为闭环模式...双框架式微机械谐振陀螺 ? 工作原理:当外框架绕 ...

第9章 谐振式传感器

第 9章 谐振式传感器 谐振式压力传感器 第 9章 ...最基本的形式是由奇数个首尾相 连成闭环的反相器...以 硅为振子材料的硅微机械谐振传感器越来越受到了 ...

一种新型微机械谐振式压力传感器研究

一种新型微机械谐振式压力传感器研究_机械/仪表_工程...( 100) 硅 片, 由于浓硼扩散硅可以抵制 KOH ...其闭环性能则是由 一个自行开发的锁相闭环自激振荡...

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