基于分形理论的光学表面误差评价方法研究

发布时间：2017-11-12 19:02

本文关键词：基于分形理论的光学表面误差评价方法研究

【摘要】：在现代激光技术的应用发展中,激光核聚变装置、高能激光、红外热成像、卫星等精密光学系统对先进光学元件都有极大的需求,且对光学元件表面质量的要求也越来越高。大量研究表明光学元件表面质量会对整个光学系统造成巨大的影响。高质量的光学元件不仅需要先进的制造技术,更需要合理的检测手段保证表面误差在一定的范围内,使其满足性能要求,这是尤为重要的。由于光学表面传统评价方法存在诸多不足,文章基于光学表面的分形结构,提出将分形理论运用于表面误差评价,并建立抛光工艺参数与分形维数的响应模型。本文针对光学表面误差评价方法,加工参数、分形维数二者响应曲面模型关系进行研究,主要研究内容包括： 1.分析比较传统光学表面评价方法优缺点,基于光学表面存在分形结构,提出将分形理论运用于光学表面误差评价。 2.模拟仿真各分形维数计算方法的计算精度与适用场合,分析光学表面的分形特点,通过实验验证不同材料光学表面的分形维数与传统评价参数存在的近似线性关系。 3.进行CMP抛光加工试验,利用响应曲面法建立CMP抛光参数与分形维数的一阶、二阶响应曲面模型,寻求最优加工工艺参数。
【学位授予单位】：厦门大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2014
【分类号】：TH161.14;TH74

【参考文献】

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