机械刻划光栅刻线误差及其修正方法研究

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机械刻划光栅刻线误差及其修正方法研究

     论文目录

摘要第1-7页

Abstract第7-13页

第1章 绪论第13-29页

   ·研究背景及意义第13-16页

   ·光栅刻划机的国内外发展现状第16-20页

   ·机械刻划光栅刻线误差修正方法的国内外研究现状第20-26页

     ·机械修正方法第22-24页

     ·光电控制方法第24-26页

   ·论文主要研究内容和结构安排第26-29页

     ·论文的主要研究内容第26-27页

     ·论文的结构安排第27-29页

第2章 光栅刻划机工作原理、误差分析及光电控制方法第29-45页

   ·引言第29页

   ·光栅刻划机运行方式及主要工作原理第29-36页

     ·光栅刻划机的主要运行方式第29-31页

     ·光栅刻划机刻划系统工作原理第31-33页

     ·光栅刻划机分度系统工作原理第33-36页

   ·机械刻划光栅的刻线误差主要来源及其分析方法第36-41页

     ·光栅刻线误差的主要来源第36-38页

     ·有限元分析法在光栅刻线误差来源分析中的应用第38-40页

     ·非理想平面光栅的衍射成像性能分析方法第40-41页

   ·光栅刻划机微定位工作台的光电控制方法第41-44页

     ·微定位工作台系统辨识方法第41-42页

     ·微定位工作台控制算法第42-43页

     ·微定位工作台位移和摆角测量方法第43-44页

   ·本章小结第44-45页

第3章 刻线误差与基底面型误差分离方法及其对光栅性能影响分析第45-61页

   ·引言第45-46页

   ·基底面型误差、刻线误差与光栅衍射波前关系的理论模型第46-48页

   ·光栅衍射光谱性能的二维快速傅里叶变换分析方法第48-53页

     ·惠更斯原理的近似表达式第48-50页

     ·光栅衍射谱光强分布的二维快速傅里叶变换方法第50-52页

     ·光栅性能指标求解方法第52-53页

   ·实验验证及分析第53-60页

     ·光栅刻线误差和基底面型误差分离实验第53-55页

     ·刻线误差和基底面型误差对光栅光谱性能影响分析第55-58页

     ·任意级衍射波前重构及其与实测衍射波前对比分析第58-60页

   ·结论第60-61页

第4章 刻线弯曲与刻线位置误差对光栅性能影响及机械修正方法第61-91页

   ·引言第61-62页

   ·非理想平面光栅的光线追迹分析法第62-68页

     ·非理想平面光栅成像系统的理论模型第62-64页

     ·等间距刻线弯曲和刻线位置误差对光栅性能影响分析第64-68页

   ·光栅等间距刻线弯曲的机械修正方法第68-80页

     ·刻划刀架系统结构对称性问题的机械修正方法第69-72页

     ·石英导轨系统刚度问题的机械修正方法第72-75页

     ·刻划刀架系统驱动方式问题的机械修正方法第75-80页

   ·光栅刻线位置误差的机械修正方法第80-90页

     ·光栅刻线不完整问题的机械修正方法第80-83页

     ·刻划刀架系统运行稳定性问题的机械修正方法第83-90页

   ·结论第90-91页

第5章 光栅刻划机微定位工作台摆角误差实时修正技术研究第91-137页

   ·引言第91-92页

   ·光栅刻划机微定位工作台系统建模及动态性能分析第92-101页

     ·微定位工作台系统的灰箱建模第92-94页

     ·微定位工作台系统参数估计第94-97页

     ·微定位工作台系统动态性能分析第97-101页

   ·微定位工作台的BP神经网络PID控制方法第101-115页

     ·BP神经网络PID控制原理第102-106页

     ·BP神经网络PID控制器仿真分析第106-110页

     ·BP神经网络PID控制与传统PID控制对比实验第110-115页

   ·微定位工作台摆角误差实时修正方法及实验分析第115-134页

     ·双压电陶瓷式摆角误差实时修正原理第116页

     ·单压电陶瓷式摆角误差实时修正原理第116-121页

     ·微定位工作台摆角误差测量实验及误差分析第121-129页

     ·光栅刻划机微定位工作台摆角误差修正实验及分析第129-134页

   ·本章小结第134-137页

第6章 总结与展望第137-141页

   ·论文工作总结第137-138页

   ·展望第138-141页

参考文献第141-149页

在学期间学术成果情况第149-151页

指导教师及作者简介第151-153页

致谢第153-154页

论文编号BS1930556，这篇论文共154页
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