MEMS谐振器集总参数的系统级提取方法

发布时间：2017-12-30 10:06

  本文关键词：MEMS谐振器集总参数的系统级提取方法　出处：《仪表技术与传感器》2016年08期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：在MEMS谐振器的设计过程中,质量、刚度等集总参数在描述器件动态性能方面起着决定性的作用。因此,集总参数的获取至关重要。传统的集总参数的提取方法有解析法、有限元法、实验法等。但这些方法在提取效率、提取精度方面都存在着固有的缺陷。基于MEMS系统级仿真平台MuPEN,提出了一种由系统级仿真结果提取微谐振器刚度、质量等集总参数的方法。以文献中的微谐振器为例,对该方法进行了验证。首先,通过Mu PEN平台对微谐振器进行系统级建模、仿真、数据拟合等。然后,提取了谐振器的刚度和质量参数,并将仿真提取结果与实验提取结果进行对比,结果表明误差小于5%。集总参数的系统级提取方法是准确、高效的。
[Abstract]:......
【作者单位】： 西北工业大学机电学院;
【分类号】：TH-39
【正文快照】： 0引言微机械谐振器(微谐振器)具有尺寸小、品质因数高,便于和IC(integrated circuits)集成等优点[1],出现在众多的MEMS传感器设计方案中,例如:滤波器[2]、振荡器[3]、谐振式惯性传感器[4-5]、谐振式压力传感器[6]等。描述微谐振器的二阶动力学方程在微谐振器的设计中起着关键

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本文编号：1354417