柔性薄膜卷绕输送系统纠偏机理分析与应用
本文关键词:柔性薄膜卷绕输送系统纠偏机理分析与应用 出处:《华中科技大学》2014年硕士论文 论文类型:学位论文
【摘要】:通常柔性电子工艺采用卷绕输送系统来完成柔性薄膜的传输,纠偏机理分析与应用是柔性薄膜输送系统的重要研究内容。本文以DR1075型框架偏摆式纠偏装置为研究对象,围绕纠偏装置的应用、机理分析及实验验证等方面开展工作。 首先,建立了薄膜应力与芯片剪应力之间的关系式,基于有限元法得到了张力与薄膜应力之间的关系,为卷绕输送系统中薄膜张力设置提供了理论依据。针对电子器件定位精度的需求,,给出了一种纠偏控制系统的优化方案。 其次,基于薄膜横向偏移一阶动力学模型分析了纠偏框架结构参数的频率特性,得到最优纠偏模型为中间跨距与旋转跨距相等,检测跨距尽量小。对速度和入口跨距进行了时间响应分析,结果表明速度越小纠偏效果越好,入口跨距的选择应该适中。 然后,分别建立了弯矩和剪切力与薄膜横向挠度之间的关系式,将薄膜设定为铁木辛柯梁,基于二阶动力学模型分析了薄膜参数对系统频率特性的影响,得到对系统频率特性影响最大的是薄膜宽度。 最后,通过实验验证了薄膜进给速度、入口跨距及薄膜张力对纠偏效果的影响。实验结果表明,薄膜进给速度减小时最大超调量和前进位移都减小。入口跨距越大,超调量越小,但是薄膜横向收敛速度越慢。薄膜不打滑时张力的改变对纠偏效果影响不显著。
[Abstract]:Usually the flexible electronic process uses the winding conveying system to complete the transmission of the flexible film. The analysis and application of rectifying mechanism is an important research content of flexible film conveying system. This paper focuses on the application of DR1075 frame deflection rectifier. Mechanism analysis and experimental verification were carried out. First, the relationship between the film stress and the chip shear stress is established, and the relationship between the tension and the film stress is obtained based on the finite element method. This paper provides a theoretical basis for the film tension setting in the winding and conveying system. According to the requirements of the positioning accuracy of electronic devices, an optimization scheme of the deviation correction control system is presented. Secondly, based on the first order dynamic model of the film lateral migration, the frequency characteristics of the structure parameters of the rectifying frame are analyzed, and the optimal correction model is obtained that the middle span and the rotation span are equal. The time response analysis of the velocity and the entrance span shows that the smaller the velocity the better the effect of correcting the deviation and the proper choice of the entrance span. Then, the relationship between the bending moment and shear force and the transverse deflection of the film is established, and the film is set up as the Temocco beam, and the influence of the film parameters on the frequency characteristics of the system is analyzed based on the second-order dynamic model. It is found that the film width has the greatest influence on the frequency characteristics of the system. Finally, the effects of film feed speed, inlet span and film tension on the bias correction effect are verified by experiments. The maximum overshoot and forward displacement decrease when the film feed speed is reduced. The larger the inlet span, the smaller the overshoot. However, the slower the lateral convergence rate of the film is, the less the influence of the tension on the rectifying effect is when the film does not slip.
【学位授予单位】:华中科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2014
【分类号】:TH22
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