基于MEMS技术的宏孔导电网络工艺

发布时间：2018-02-16 15:24

  本文关键词： 微机电系统(MEMS) 宏多孔硅(MPS) 宏孔导电网络(MECN) 化学镀镍 液流沉积　出处：《微纳电子技术》2016年05期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：宏多孔硅基于MEMS技术,通过清洗、氧化、光刻和湿法刻蚀等工艺流程制备,其大比表面积的多孔三维结构可作为很好的骨架结构。以宏多孔硅为基底,在其表面以及通道内沉积集流层,制备的宏孔导电网络可作为微型储能器件电极的衬底。实验改进了传统浸泡的沉积方法,使其优化为液流沉积,显著改善了集流层沉积不均匀现象。改善后的宏孔导电网络集流层均匀性良好,在作为储能器件的衬底时,可以更好地沉积活性物质,增强其黏附性、扩大储能器件的容量,并在后续储能器件的循环测试中起到大幅度提高稳定性的作用。
[Abstract]:Based on MEMS technology, macroporous silicon is prepared by cleaning, oxidation, lithography and wet etching. The porous three-dimensional structure with large specific surface area can be used as a good skeleton structure. The macroporous conductive network can be used as the substrate of the electrode of the micro energy storage device by depositing the collecting layer on the surface and in the channel. The traditional immersion deposition method is improved experimentally to optimize the deposition for liquid flow. The uneven deposition of the collecting layer is significantly improved. The improved mesopore conductive network has good uniformity of the collecting layer. As the substrate of the energy storage device, it can better deposit the active material, enhance its adhesion, and expand the capacity of the energy storage device. And in the follow-up energy storage device cycle test plays a significant role in improving the stability.
【作者单位】： 华东师范大学极化材料与器件教育部重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61176108)
【分类号】：TH-39;TB383.4

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本文编号：1515827