当前位置:主页 > 科技论文 > 机械论文 >

基于ANSYS的面内压电微驱动器有限元分析

发布时间:2019-11-22 16:21
【摘要】:设计了一种新型水平面内微驱动器,其具有结构简单,响应速度快,输出位移大的特点。通过ANSYS软件建立了微驱动器的有限元模型,并对其进行压电分析,获得y、z向的变形图,其输出端的y、z向位移分别为0.61μm和1.13μm。经过模态分析获得微驱动器的前五阶共振频率,并提取了前三阶振型图,研究结果可知共振状态对微驱动器工作的影响状况。对微驱动器的关键尺寸进行了参数化研究,可对微驱动器的进一步设计提供理论指导。
【图文】:

微驱动器


特点[1-3],作为微机电系统的重要组成部分,一直伴随着微机电系统的发展而发展,可应用于航空航天、惯性制导、汽车电子、微型机器人、移动通信等领域。压电材料具有正逆压电效应,既可用于制造传感元件又可用于制造驱动元件,压电驱动器就是利用压电材料的逆压电效应,实现晶体的机械变形,从而提供驱动力或驱动位移,本文利用有限元软件AN-SYS15.0对水平面内压电微驱动器进行了压电分析与模态分析,并对各尺寸参数对输出位移的影响情况进行了研究。1微驱动器的结构设计与原理分析图1为微驱动器的设计采用双层复合结构。上层为压电陶瓷材料,下层为多晶硅材料,硅基体设计为对称结构,其主要由位于根部的支撑端、输出端、中心横梁、四周斜梁及伸出部分构成,,其尺寸参数如图1微驱动器结构简图

变形图,变形图,微驱动器


=00-4.100-4.10014.1000010.5010.q縬纐模担埃皅牛茫恚玻ǎ玻┫喽越榈缇卣螅郏矗荭牛颍剑福埃矗叮埃埃埃福埃矗叮埃埃埃叮担梗畄縬纐模穛牛ǎ常玻蔽⑶鞯难沟绶治龆晕⑶鞯闹С哦耸┘尤杂啥裙潭ㄔ际谘沟绫∧さ南卤砻媸┘樱玻埃值缪梗媳砻娼拥亍M迹病ⅲ撤直鹞⑶髟冢ⅲ较虻谋湫瓮肌N⑶魇涑龆耍蛭灰莆埃叮宝蹋恚蛭灰莆保保肠蹋怼M迹玻虮湫瓮纪迹常虮湫瓮几谋溲沟绫∧は卤砻婕だ缪沟拇笮。郏担叮荩迹次涑龆宋灰坪图だ缪辜涞墓叵登摺J涑龆耍ⅲ蛭灰贫加胧淙氲缪钩烧壤咝怨叵怠K钥赏ü龃蠹だ缪估刺岣呤涑龆怂矫婺冢蛭灰频氖涑觯币悸鞘涑龆耍蛭灰圃龃蠖运绞涑鎏匦缘挠跋臁M迹吹缪梗灰乒叵登撸玻参⑶鞯哪L治鐾üL治觯郏罚福萑范ㄎ⑶鞯恼穸匦裕苑治龉舱衲L晕⑶鞴ぷ髯刺挠跋烨榭觥#罚保囱沟缬肷猓玻埃保赌

本文编号:2564555

资料下载
论文发表

本文链接:https://www.wllwen.com/kejilunwen/jixiegongcheng/2564555.html


Copyright(c)文论论文网All Rights Reserved | 网站地图 |

版权申明:资料由用户0f95e***提供,本站仅收录摘要或目录,作者需要删除请E-mail邮箱bigeng88@qq.com