磁悬浮分子泵数字控制系统研究和实验
发布时间：2021-03-01 07:39
磁悬浮分子泵是一种采用磁轴承替代传统轴承的真空泵,是典型的机电一体化产品,具有高转速、长寿命和高刚度等优点,广泛应用于半导体等领域。本课题研究目的是为了解决国家16项重大专项课题之一——神光Ⅲ项目中要求的高真空和高洁净等问题。普通分子泵有寿命短、振动和噪音高以及抽取真空的洁净度不理想的缺点,显然不能满足其要求,因此磁悬浮分子泵的研究应用具有特殊的意义。本论文主要进行了磁悬浮分子泵结构设计,磁轴承数字控制系统的研究和基于DSP的数字控制器模拟化设计方法的研究。首先,在涡轮分子泵的基础上,根据磁轴承的特点进行了磁悬浮涡轮分子泵的结构设计,侧重于介绍磁悬浮涡轮分子泵磁轴承系统的结构和构成部件,以及其机械装置的重新设计与改进工作,并介绍了工作原理。其次,对磁悬浮涡轮分子泵磁轴承系统各部分进行了详细的介绍,建立了各个部分的数学模型,建立了控制系统的闭环传递函数,用MATLAB对其进行了仿真研究,并在此基础上分析了PID调节器中各参数对控制性能的影响。再次,对基于DSP的数字控制器进行了介绍,研究了数字控制器的模拟化设计方法,研究了数字控制系统控制算法和离散化方法,用MATLAB对磁悬浮涡轮分子泵...
【文章来源】：哈尔滨工业大学黑龙江省 211工程院校 985工程院校
【文章页数】：57 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
法国S2M公司分子泵Fig.1-1MolecularpumpofS2MCompanyinFrench
把转子支持在泵腔内，控制的电磁铁控制这 5 个自由度磁铁支承，其余用 4 个电磁 1 组轴向电磁铁控制和 2 组仅在轴向用 1 组电磁铁控制数越多造价越昂贵,因而才有少，控制精度越低。所以现商，多以磁悬浮分子泵为研投放市场。使泵的可靠性提的主要厂家也正在开发研制必要对用于分子泵的磁轴承 1-2 德国莱宝 MAG 系列磁悬浮AG Magnetic Molecular pump of
eams最早研制出离心机用混合磁轴承。卫星飞轮。20 世纪 70 年代以来，磁控制理论的发展，带动了磁轴承技术加承的研制与开发中。1976 年法国成立的磁轴承系统P[16~18]P。从 1988 年起，国际磁轴承技术会议P[19~25]P。九十年代初在术研究的进展，磁轴承得到了越来越多商业公司参与到这个具有广阔发展前景作。这些机构与公司包括：美国 NAS利大学、德州大学奥斯丁分校、波音公院、MECOS 公司、法国 S2M、德国 Me 公司、日本东京大学、千叶大学、岛津公司应用于天然气传输的磁悬浮离心压输 21.3 x 106mP3P(755 MMSCFD)的天，功率 900W， 转速 60 000r/min。图 800W，转速为 24 000r/min。
【参考文献】：
期刊论文
[1]电磁轴承及其应用研究综述[J]. 蒋启龙,连级三. 重庆大学学报(自然科学版). 2004(07)
[2]混合磁轴承结构与DSP控制原理[J]. 戈素贞,曹蒙生. 轴承. 2003(11)
[3]磁悬浮轴承功率放大器的研究[J]. 苏义鑫,周祖德,胡业发,张丹红. 武汉理工大学学报. 2003(06)
[4]电磁轴承及其系统设计方法[J]. 汪希平,章东义,张钢,朱礼进,张直明. 机械工程学报. 2002(05)
[5]分子泵的世纪回顾与展望[J]. 杨乃恒,巴德纯,王晓冬,于治明. 真空. 2001(02)
[6]PWM功率放大器驱动电路的设计[J]. 张萍,刘素芬,何春生. 电测与仪表. 2001(04)
[7]磁悬浮轴承研究综述[J]. 刘迎澍,黄田. 机械工程学报. 2000(11)
[8]磁轴承MPW开关功率放大器的研究[J]. 杨作兴,赵雷,赵鸿宾. 电力电子技术. 2000(05)
[9]电磁轴承在透平膨胀机中的应用研究进展[J]. 汪希平,张直明,于良,万金贵. 中国机械工程. 2000(04)
[10]真空获得设备的发展现状与展望[J]. 杨乃恒. 真空. 1999(02)
硕士论文
[1]磁轴承开关型功率放大器的研究[D]. 臧晓敏.南京航空航天大学 2004
本文编号：3057158
【文章来源】：哈尔滨工业大学黑龙江省 211工程院校 985工程院校
【文章页数】：57 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
法国S2M公司分子泵Fig.1-1MolecularpumpofS2MCompanyinFrench
把转子支持在泵腔内，控制的电磁铁控制这 5 个自由度磁铁支承，其余用 4 个电磁 1 组轴向电磁铁控制和 2 组仅在轴向用 1 组电磁铁控制数越多造价越昂贵,因而才有少，控制精度越低。所以现商，多以磁悬浮分子泵为研投放市场。使泵的可靠性提的主要厂家也正在开发研制必要对用于分子泵的磁轴承 1-2 德国莱宝 MAG 系列磁悬浮AG Magnetic Molecular pump of
eams最早研制出离心机用混合磁轴承。卫星飞轮。20 世纪 70 年代以来，磁控制理论的发展，带动了磁轴承技术加承的研制与开发中。1976 年法国成立的磁轴承系统P[16~18]P。从 1988 年起，国际磁轴承技术会议P[19~25]P。九十年代初在术研究的进展，磁轴承得到了越来越多商业公司参与到这个具有广阔发展前景作。这些机构与公司包括：美国 NAS利大学、德州大学奥斯丁分校、波音公院、MECOS 公司、法国 S2M、德国 Me 公司、日本东京大学、千叶大学、岛津公司应用于天然气传输的磁悬浮离心压输 21.3 x 106mP3P(755 MMSCFD)的天，功率 900W， 转速 60 000r/min。图 800W，转速为 24 000r/min。
【参考文献】：
期刊论文
[1]电磁轴承及其应用研究综述[J]. 蒋启龙,连级三. 重庆大学学报(自然科学版). 2004(07)
[2]混合磁轴承结构与DSP控制原理[J]. 戈素贞,曹蒙生. 轴承. 2003(11)
[3]磁悬浮轴承功率放大器的研究[J]. 苏义鑫,周祖德,胡业发,张丹红. 武汉理工大学学报. 2003(06)
[4]电磁轴承及其系统设计方法[J]. 汪希平,章东义,张钢,朱礼进,张直明. 机械工程学报. 2002(05)
[5]分子泵的世纪回顾与展望[J]. 杨乃恒,巴德纯,王晓冬,于治明. 真空. 2001(02)
[6]PWM功率放大器驱动电路的设计[J]. 张萍,刘素芬,何春生. 电测与仪表. 2001(04)
[7]磁悬浮轴承研究综述[J]. 刘迎澍,黄田. 机械工程学报. 2000(11)
[8]磁轴承MPW开关功率放大器的研究[J]. 杨作兴,赵雷,赵鸿宾. 电力电子技术. 2000(05)
[9]电磁轴承在透平膨胀机中的应用研究进展[J]. 汪希平,张直明,于良,万金贵. 中国机械工程. 2000(04)
[10]真空获得设备的发展现状与展望[J]. 杨乃恒. 真空. 1999(02)
硕士论文
[1]磁轴承开关型功率放大器的研究[D]. 臧晓敏.南京航空航天大学 2004
本文编号：3057158
本文链接：https://www.wllwen.com/kejilunwen/jixiegongcheng/3057158.html
