一种在真空室内OLED掩模板与镀膜基片的自动分离机构

发布时间：2023-04-28 01:50

　　本机构主要包括磁性掩膜板夹持机构、顶柱嵌套机构、夹持器顶轮机构和掩膜板接受台。主要功能是在真空室内将完成镀膜后的掩膜板从夹持机构中分离,从而达到掩膜板与镀膜基片在真空状态下完成全自动分离动作的工艺要求,提高掩膜板在真空镀膜生产线中的分离、清洗维护及使用效率,从而提高镀膜生产线的生产效率。

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【文章目录】：
0 引言
1 磁性掩膜板在OLED镀膜设备中的应用
2 掩膜板分离联接单元
3 磁性掩膜板自动分离机构示意图
4 磁性掩膜板的固定与分离原理
    4.1 磁性掩膜板的固定原理
    4.2 磁性掩膜板的分离原理
5 磁性掩膜板自动分离机构实施过程
6 结束语



本文编号：3803496