一种气浮输运导轨的建模仿真与实验研究

发布时间：2017-06-07 13:03

  本文关键词：一种气浮输运导轨的建模仿真与实验研究，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：目前许多行业需要利用非接触的方式来输运清洁和易损的产品,类如硅晶片、食品和新喷涂的物体等.文中介绍了一种利用气流粘性牵引原理驱动平面物体实现非接触运动的装置,针对压力分布和粘性力等基本特性进行了理论和实验研究.文中建立了雷诺方程与不可压缩Navier-Stokes方程相耦合的理论模型,并通过实验验证了模型的正确性.仿真和实验结果表明:气膜压力在垂直于驱动单元内气流方向上呈对称分布,而沿气流方向呈非对称分布.此外,气膜压力微分结果表明:粘性力实际上是由驱动单元正力与分隔区阻力共同作用的结果,它受到气膜间隙高度和出口吸气流量的影响.
【作者单位】： 江苏科技大学机械工程学院;无锡气动技术研究所有限公司;浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室;
【关键词】： 气膜 粘性 非接触 压力分布
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51205174) 中国博士后科学基金资助项目(2014M550309)
【分类号】：TH22
【正文快照】： 半导体晶圆、食品和新喷涂的工件等物品在生产加工中极易受到污染或者损坏,对其需要采用无摩擦非接触的输运方式.基于气动技术构建的输运系统具有清洁无污染、不发热、不生磁等特点,是当前非接触式输运领域的主流[1],其主要包括两种实现方式:真空吸附[2-3]和静压气浮[4-6].然

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本文编号：429097