干摩擦条件下基体粗糙度对Cr-DLC薄膜摩擦磨损性能的影响

发布时间：2017-06-19 14:00

  本文关键词：干摩擦条件下基体粗糙度对Cr-DLC薄膜摩擦磨损性能的影响，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：采用磁控溅射/等离子辅助气相沉积方法在不同粗糙度样品表面制备Cr掺杂类金刚石(Cr-DLC)薄膜,研究了干摩擦条件下,基体粗糙度对Cr掺杂类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响.结果表明:在低表面粗糙度样品上体现了Cr掺杂类金刚石薄膜良好的自润滑特性,平均摩擦系数在0.1以下,达到了油润滑条件的摩擦水平,磨损较小,磨损表面薄膜结构完整,未出现明显石墨化转变.在高表面粗糙度样品上,样品的平均摩擦系数提高了3~4倍,磨损剧烈,基体表面磨出了明显的沟槽,与其对摩的Si_3N_4球磨损严重.
【作者单位】： 中国农业机械化科学研究院;北京金轮坤天特种机械有限公司;
【关键词】： 磁控溅射/等离子辅助气相沉积 不同基体粗糙度 干摩擦 Cr掺杂类金刚石薄膜 摩擦磨损性能
【分类号】：TB383.2;TH117.1
【正文快照】： 类金刚石薄膜(DLC)是介于金刚石和石墨之间含有sp3和sp2杂化键的亚稳态薄膜,其有很多表现形式包括非晶态薄膜,硬质碳薄膜等[1].类金刚石薄膜具有很多与金刚石薄膜相似的优异性能,如高硬度、低摩擦系数、耐磨损、抗划伤性、耐腐蚀性、抗粘连性、高化学稳定性、良好的光学透过性

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